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超声电火花复合加工的研究进展哈尔滨工业大学机电学院 袁松梅 赵万生 刘维东哈尔滨工业大学威海分校 超声电火花复合加工的研究进展 哈尔滨工业大学机电学院 袁松梅 赵万生 刘维东 哈尔滨工业大学威海分校 栾英艳 [ 摘要] 概括了目前国内外超声电火花复合加工技术的最新进展 , 介绍了其结构和工作原理 , 并指出了 其发展趋势 。 关键词 : 电火花加工 超声加工 复合加工 Abstract Based o n vast co nferences , t his paper summarizes t he p resent ult raso nically assisted EDM , int ro2 duces it s co nfiguratio ns and mechanisms and point s out t he t rends of micro EDM . Key words : EDM ult raso nic machining co mpound machining 了详细的研究3 。其实验条件为 : 开路电压 40V , 放电间隙 011mm , 电极的超声振动频率 22 k Hz , 振 幅 3μm 。结果显示 , 大部分碎屑呈现轻微椭圆度的 球形 , 除 有 个 别 的 中 空 结 构 外 , 其 余 均 为 实 体 结 构 。电源的脉冲特性明显影响到形成碎屑的尺寸 , 在超声的作用 下 碎 屑 颗 粒 的 椭 圆 度 减 小 , 颗 粒 尺 寸 、铜电极的蚀除量和碎屑碰撞的剧烈程度均有明 显的增加 。同时 , 实验者指出放电间隙中附加超声 辐射场对 EDM 将产生下面的影响 : ① 空化作用加剧 , 增大了放电区中颗粒碰撞 的随机性和剧 烈 程 度 , 使 形 成 碎 屑 颗 粒 的 尺 寸 变 大 ; ② 放电区中颗粒的受力更复杂 , 增加了超声 场辐射力的作用 ; ③ 放电区中声流场交替地变化加速了电解液 的循环和扰动效果 。 英国的 RODN E Y W. J . 等人在 1990 年 申 请 了电火花超声复合穿孔的专利4 。该装置如图 1 所 示 。主要用于加工在导电基上有非导电层的零件 , 例如 : 在金属基上涂有压电陶瓷层的零件 。整个加 工过程分两个阶段进行 : 首先用超声振动将非导电 层去除掉 , 当传感器感知金属层出现时 , 即刻改用 电加工的方法进行加工或电火花与超声复合的方法 进行加工 。该 装 置 在 电 火 花 加 工 ( EDM) 的 基 础 上附加超声加工 ( U SM) , 有效地解决了具有导电 层和非导电层零件的加工问题 。 罗马尼亚 Polytechnical Instit ute of Bucharest 的 S T. ENACHE 等人对工具电极在振动力作用下的 电火花加工进行了研究 。建立了电极在外力振动情 在电火花微小孔加工中 , 由于被加工孔的孔径 细微 (015mm 以下) , 加工时放电间隙狭小 ( 1μm 左右) , 电 蚀 产 物 易 聚 积 在 孔 的 底 部 , 排 屑 困 难 , 稳定的放电间隙范围小且容易受其它工艺参数的影 响 , 易造成频繁的短路和非正常的放电 ; 同时 , 为 达到较高的加工尺寸精度和表面精度 , 常采用减小 单个脉冲放电能量的方法 , 减小材料的蚀除量 , 降 低了加 工 速 度 ; 另 外 , 由 于 微 孔 加 工 工 具 电 极 细 微 , 当深径比较大时 , 异常放电易烧毁工具电极 , 造成加工不能稳定进行 , 可加工范围变窄 , 使传统 的电火花加工在微细加工中不能成为有效的加工方 法1 ～2 。 目前常采用的提高电火花加工能力的方法 , 如 人工排气法 , 强迫冲液或抽液法 、加速工作液循环 等方法 , 常因加工条件或加工要求的限制而无法实 现 。因此 , 为改 善 电 火 花 加 工 性 能 , 在 微 细 加 工 中 , 采用超声电火花复合加工是非常有效的手段 。 在电极上附加超声振动 , 就可以使电极端面频 繁进入合适的放电间隙 , 提高火花击穿的概率 ; 同 时由于超声的空化作用和泵吸作用 , 可以增大被加 工材料的去除量 , 加速工作液循环 , 改善间隙放电 条件 , 从而提高被加工孔的深径比 、加工稳定性 、 生产率和脉冲电源的利用率 , 并且在振幅得到良好 控制的情况下 , 可以获得更高的加工精度 。 1 超声电火花复合加工的研究现状 111 国外的研究现状 1986 年 , 印 度 Madras 工