第十三 章节电子探针显微分析解析资料.pptVIP

13.1 概论 电子探针的主要功能 进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 原理： 用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 13.2 电子探针仪的结构与工作原理 结构分为三大部分：镜筒、样品室、和信号检测系统。 ? 镜筒和样品室部分与SEM相同。 ? 信号检测系统是X射线谱仪，对微区进行化学成分分析： 波长分散谱仪或波谱仪（WDS），用来测定特定波长的谱仪； 能量分散谱仪或能谱仪（EDS），用来测定X射线特征能量的谱仪 要使同一台仪器兼具形貌分析和成分分析功能，往往将扫描电镜和电子探针组合在一起。 波长分散谱仪（波谱仪WDS） 1．工作原理 上述平面分光晶体使谱仪的检测效率非常低，表现在：(1)固定波长下，特定方向入射才可衍射；(2)处处衍射条件不同 2) 在样品上方放置分光晶体，当入射X波长λ、入射角θ、分光晶体面间距d之间满足: 2dsinθ=λ 时， 该波长将发生衍射，若在其衍射方向安装探测器，便可记录下来。由此，可将样品作用体积内不同波长的X射线分散并展示出来。 要解决的问题是：①分光晶体表面处处满足同样的衍射条件； ②实现衍射束聚焦 解决的办法是：