ESD防护器件测试系统性能研究.doc

? ?Q R? %?? % ? ?OM? ?OM? 第 ３２ 卷ＪｏｕｒｎａｌｏｆＨｅｂｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆ ? ?Q R? %? ? % ? ?OM? ?OM? 第 ３２ 卷 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＨｅｂｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｖｏｌ．３２  文 章 编 号 ：１００８－１５４２（２０１１）０７－００６７－０４ ＥＳＤ 防护器件测试系统性能研究 王 振 兴 ，武 占 成 ，张 希 军 ，高 永 生 （军械工 程 学 院静电与电磁防护研究所 ，河 北 石 家 庄 ０５０００３） 摘 要 ：静 电 放 电 （ＥＳＤ）的 测 试 方法主要为人体模型 （ＨＢＭ）、人 体 －金 属 模 型 （ＢＭＭ）和 机 器 模 型 （ＭＭ）等 ，近 年 来 传 输 线 脉 冲 （ＴＬＰ）测 试 方 法 得 到 广 泛 使 用 。 基 于 ＴＬＰ 测 试 理 论 建 立 了 ＥＳＤ 防 护 器 件 测 试 系 统 ，并对测试系 统的性能进行了 测 试 研 究 。 测 试 发 现 不 同 脉 宽 的 测 试 方 波 对 器 件 的 峰 值 电 流 、峰值电 流时间和箝 位时间影响不大 ，但 脉 冲 结 束 电流和箝位电 压 随着脉 宽增大而减小 ， 同时 较长的传 输线会产生较宽的延迟脉宽 ，对测试结果并未产生影响 。 关 键 词 ：ＥＳＤ；ＴＬＰ；脉 宽 ；传 输 线 线 长 中 图 分 类 号 ：ＴＮ７１０ 文 献 标 志 码 ：Ａ 静 电 放 电 （ＥＳＤ）严 重 影 响 电 子 器 件 和 集 成 电 路 的 可 靠 性 。ＥＳＤ 测试 模型使用较多的是人体模型 （ＨＢＭ）、人 体 －金 属 模 型 （ＢＭＭ）和 机 器 模 型 （ＭＭ）等［１］。近 年 来 传 输 线 脉 冲 （ＴＬＰ）测 试 方 法 被Ｉｎｔｅｌ等 大 公 司 发 明 ，由 于 ＴＬＰ 测 试 方法可以描绘出器件在 ＥＳＤ 作 用 下 的 电 流 、电 压 特 性 ，因 此 得 到 广 泛 使 用［２］，但 当 前 ＴＬＰ 测 试 方 法 并 没 有 制 定 出 统 一 的 标 准 。 瞬 态 电 压 抑 制 管 等 保 护 器 件 是 现 在 电 子 线 路 中 必 不 可 少 的 组 成 部 分 ，而器 件的箝位电 压和响应时 间等参数是反映其性能的重要参数 。 ＥＳＤ 防护器件测试系统 当 前 主 要 的 ＴＬＰ 测试方法有以下几类［３］。 １）时 域 反 射 ＴＤＲ ＴＬＰ：直接 使 用示波器测量被测器件的入 射 波 和 反射 波 。 ２）时 域 传 输 和 反 射 ＴＤＲＴ ＴＬＰ：利用传输和反射波混合的测量方式 。 ３）时 域 传 输 ＴＤＴ ＴＬＰ：在示波器上直接测量传输波形的 ＴＬＰ 测 试 方 式 。 ４）电 流 源（ＣｕｒｒｅｎｔＳｏｕｒｃｅ）ＴＬＰ：在 ＤＵＴ 上 串 联 ５００Ω 的 电 阻 ，然 后 测 量 ＤＵＴ 的 电 压 和 电 流 。 １ 笔 者 根 据 时 域 传 输 ＴＤＴ ＴＬＰ 测 试 方 法 建 立 了 ＥＳＤ 防 护 器 件 性 能 测 试 系 统 ，图 １为 建 立 的 ＥＳＤ 防护器件测试系统示意图 。 ＥＳＤ 防 护 器 件 测 试 系 统 主 要 由 高 频 噪 声 发 生 器 、同 轴 线 、测 试 夹 具 、脉 冲 衰 减 器 和 示 波 器 组 成 。 由 高 频 噪 声 发 生 器 产 生 脉 宽 和 幅 值 可 调 的 方 波 ，经 过 同 轴 线 传 输 施 加 在 固 定 在 测 试 夹 具 上 的 器 件 上 。同 时 器 件 两 端 的 电 压 值 （即夹具两端的电压值 ）经 衰 减 器 后 在 示 波 器 上 显 示 。由 于 采 样 电 阻 与 器 件 串 联 在 一 起 ，测 量 采 样 电 阻 两 端 的 电 压 ，即 可 计 算 出 流 经 器 件 上 的 电 流 值 。 为 了 满 足 测 试 系 统 的 输 入 阻 抗 和 特 性 阻 抗 的 匹 配 ，系 统 采 用 的 高 频 噪 声 发 生 器 、同 轴 线 、测试 夹具和示波器的特性阻抗都是 ５０Ω。 50 赘 同 轴 线 测 器 件 A 样 电 阻 50 赘 同 轴 线 图 １ ＥＳＤ 防护器件测试 系 统 示 意 图 系 统 中 使 用 的 方 波 源 为 日 本 Ｎｏｉｓｅｋｅｎ 公 司 生 产 的 ＩＳＮ－４０４０ 高频噪声模拟发生器 ，使 用 的 示 波 器 为 收 稿 日 期 ：２０