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光 栅 莫尔条纹特性: (1)光学放大作用 放大比k为 : 若d=0.01mm,θ=0.01rad,则w=1mm,k=100 光 栅 (2)实现平均误差作用 莫尔条纹 → 大量光栅线纹干涉 → 误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度 (3)莫尔条纹移动与栅距移动成比例 光栅移动一个栅距d → 莫尔条纹沿垂直方向移动一 个间距w 若光栅移动方向相反,莫尔条纹移动方向也相反。 光 栅 .3 光栅测量系统 光强信号变为同频率的电压信号 标尺光栅移动过程中,莫尔条纹交替出现由亮带到暗带、暗带到亮带,光强度分布近似余弦曲线,光电元件接收到的光通量忽大忽小,产生近似正弦曲线的电压信号 光 栅 四倍频细分 光 栅 鉴向倍频装置 d 光 栅 鉴向倍频电路作用: 辨向、细分,提高光栅的分辨率。 四倍频细分: 就是从一个莫尔条纹之产生一个电脉冲信号,变成为 0°、90°、180°、270°都有脉冲输出,一个周期内 送出4个脉冲。分辨率提高4倍。 分辨率取决于光栅栅距d和鉴向倍频的倍数n,即: 分辨率=d/n。 例:光栅线纹密度50条/mm(栅距20μm),经4倍 频处理后,线纹密度提高到200条/mm,工作台每移动 5μm送出一个脉冲,即分辨率为5μm,提高4倍。 光 栅 光栅在数控车床上的安装位置 光 栅 光栅在数控镗铣床上的安装位置 磁 栅 磁栅(磁尺):用电磁方法计算磁波数目的一种位 置检测元件。用于线和角位移测量。与感应同步器、光 栅相比,测量精度略低。 优点: 1.制作简单,安装、调整方便,成本低。录制完的磁化信号,可抹去重录。可安装在机床上再录磁,避免安装误差。 2.长度可任意选择,亦可录制任意节距的磁信号。 3.对使用环境要求低。在油污、粉尘较多的环境中应用,具有较好的稳定性。 磁 栅 .1 磁栅的工作原理与结构 组成: 磁性标尺、磁头和检测电路。 工作原理: 用录磁磁头将相等节距(常为20μm 或50μm)周 期变化的电信号记录到磁性标尺上,作为测量位移量的 基准尺。 磁 栅 1)磁性标尺的等节距录磁的精度要求很高 2)磁头采用磁通响应型磁头(静态磁头) 检测时,用拾磁磁头读取记录在磁性标尺上的磁信号,通过检测电路将位移量用数字显示出来或送至位置控制系统 磁 栅 1.磁性标尺 非导磁材料基体(铜、不锈钢或合金材料)上,用涂 敷、化学沉积或电镀镀一层10~30μm厚的高导磁材料, 形成均匀磁性膜。 使用录磁磁头使磁膜磁化成节距(0.05㎜、0.10㎜、 0.20㎜、1.0㎜等)相等的周期变化磁化信号(脉冲、正 弦波或饱和磁波),作为测量基准。 在磁尺表面涂一层1~2μm厚的耐磨塑料保护层,防 磁头与磁尺频繁接触、导致磁膜磨损。 磁 栅 2.磁头 把反映空间位置变化的磁化信号检测出来,转换成电 信号,输送给检测电路。 a.动态磁头:有一组输出绕组,磁头和磁尺有一定相对速 度时能读取磁化信号,用于录音机、磁带机的拾磁磁 头,不能测量位移。 b.静态磁头:磁尺与磁头相对运动速度很低或处于静止时 (即数控机床低速运动和静止时)能测量位移或位置。 静态磁头在普通动态磁头上加带励磁线圈的可饱和 铁心,利用了可饱和铁心的磁性调制原理。 静态磁头又可分为单磁头、双磁头和多磁头。 磁 栅 磁栅的工作原理与结构 激磁绕组通高频激磁电流 I=I0sin(ω0t/2) I的瞬时值>某一数值时,横臂上铁芯材料饱和,磁阻很大,磁路被阻断,磁性标尺的磁通Φ0不通过磁头闭合,输出线圈不与Φ0交链。 I的瞬时值<某一数值时,横臂中磁阻降低到很小,磁路开通,输出线圈与Φ0交链。 (1)磁通响应型磁头(有可饱和铁芯的二次谐波磁性调制器) 磁 栅 激磁电流一个周期内两次过零、两次出现峰值,磁开关通断各两次。输出线圈输出的信号是一个调幅信号: e—输出线圈输出的感应电动势; E0—输出线圈输出的感应电动势峰值; λ—磁性标尺上的磁化信号节距; x—磁头对磁性标尺的位移量; ω—输出线圈感应电动势的频率,是激磁电流I的频率ω0的2倍。 e和磁性标尺与磁头相对速度无关,而是由位移量X决定的 选用磁尺的某一N极作位移零点测出 e=0,的次数,根据磁性标尺的磁信号节距λ ,计算出位移量 x 磁 栅 (2)多间隙磁通响应型磁头 多间隙磁头中每一个磁头以相同的间距λm/2配置,相邻两磁头的输出绕组反相串接,得到
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