清洁度检测作业指导书.docxVIP

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清洁度检测作业指导书 文件号 D-7.2-09 版本号 01 编制日期 2014-11-2 编制 生效日期 2014-11-2 批准 1准备 1 146作业 14 6 分析 2 2 3 3 4 4 5 5 事先将清洗剂PSC-001A用0.5um的滤膜进行过滤 所使用的容器和工装应事先用清洗剂PSC-001A清洗干净 10清洗干净的镊子放在装有无水乙醇的干净的烧杯中 10 清洁滤膜:用洗过的镊子夹取1片滤膜,目测滤膜表面有无可视的黑点、异物等,有的话废弃该滤膜,没有的话放入到洗过的装有清洗剂的玻璃器皿中。将洗净的滤膜放置到培养皿或者称量瓶中并放置到干燥皿中。 13 13 将干净且已称重的滤膜紧贴在过滤漏斗上 7 7 8 8 9用清洗剂清洗漏斗 9 11 11 取出检测后的滤膜 12 12 干燥滤膜 将洁净的漏斗固定在抽滤瓶上。 打开真空泵,向待检零件一端入口处注入适量的清洗剂 取下架子,用清洗剂冲洗漏斗下端 将已测滤膜放在干净的培养皿或者称量瓶中 30分钟后取出滤膜放在干燥皿中冷却 15 15 16 16 191718 19 17 18 冷却完成后放在电子天平上称量 将滤膜取出放在专用滤膜台上,并取出放置在干净的无水乙醇中的玻璃片 将玻璃片放在滤膜上方 将滤膜台放置到专用分析显微镜内并关好窗。 用专用分析显微镜系统测定滤膜上颗粒大小尺寸,记录检测结果 将检测结果数据(零件名称、零件号、供应商、批次)登记在原始记录上,并用胶带将已测滤膜粘在原始记录上

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