用光干涉极值法动态测定膜厚.pptxVIP

☞ 专题：用光干涉极值法动态测定膜厚 一、引言： 薄膜光学是物理学领域近期发展出来的一个分支，它主要研究光在分层介质中的传播规律，如介质的折射率、反射、吸收及色散变化的规律等。 对于厚度小于10nm的膜，其光学特性（如折射率和吸收系数）与膜厚有显著的关系。在各种不同的应用中，对薄膜厚度的要求是十分严格的，所以不论何种形式的镀膜设备都需对膜厚进行监测。 思考与讨论： （1）图中反射光的光程差是多少？ （2）透射光的光程差又是多少？ 分组讨论2分钟 分组讨论3分钟 这两束透射的相干光的光程差是： 干涉条件可写为： 思考与讨论： 光强每经过一个周期的变化，膜层的厚度增加多少？ 分组讨论2分钟 这种方法的优点是可实现镀膜过程中，膜厚的动态控制。 应用：可用于制作增透膜、增反膜的膜厚控制等。