极浅压入下纳米压痕仪针尖面积函数校准方法的研究-计量学报.pdfVIP

第３８卷　第５期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３８，№５ ２０１７年　９月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ，２０１７ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１７．０５．１６ 极浅压入下纳米压痕仪针尖面积函数 校准方法的研究 １ ２ ２ １ ２ 王新伟 ，　陶兴付 ，　李　旭 ，　贺志勇 ，　任玲玲 （１．太原理工大学 表面工程研究所，山西 太原０３００２４； ２．中国计量科学研究院，北京 １０００２９） 摘要：采用原子力显微镜直接扫描纳米压痕仪针尖法、球面拟合法和熔融石英标准样块的间接测量法对极浅 压入下纳米压痕仪的针尖面积函数进行比较分析。实验表明，在极浅压入下，原子力显微镜直接法由于真实地反 映了针尖尖端的几何形貌因而获得的面积函数更为准确可靠。建立了相应的数学模型，对于直接法测量中主要的 误差，即由于原子力显微镜针尖曲率半径带来的误差进行了分析，结果表明在极小压入深度下压入深度越小，原子 力显微镜针尖曲率半径带来的压痕仪针尖面积函数相对误差越大。 关键词：计量学；纳米压痕；原子力显微镜；针尖面积函数；校准；极浅压入深度 中图分类号：ＴＢ９３８．２　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１７）０５０５９３０５ ＳｔｕｄｙｏｎｔｈｅＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄｏｆｔｈｅＴｉｐＡｒｅａＦｕｎｃｔｉｏｎｏｆ ｔｈｅＮａｎｏｉｎｄｅｎｔｅｒａｔＳｕｐｅｒＬｏｗＤｅｐｔｈ １ ２ ２ １ ２ ＷＡＮＧＸｉｎｗｅｉ，　ＴＡＯＸｉｎｇｆｕ，　ＬＩＸｕ，　ＨＥＺｈｉｙｏｎｇ，　ＲＥＮＬｉｎｇｌｉｎｇ （１．ＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＳｕｒｆａｃｅＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＴａｉｙｕａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｔａｉｙｕａｎ，Ｓｈａｎｘｉ０３００２４，Ｃｈｉｎａ； ２．ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｒｅｅｍｅｔｈｏｄｓａｒｅｕｓｅｄｔｏｃａｌｉｂｒａｔｅｔｈｅｔｉｐａｒｅａｆｕｎｃｔｉｏｎｏｆｔｈｅｎａｎｏｉｎｄｅｎｔｅｒａｔｓｕｐｅｒｌｏｗｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎｄｅｐｔｈ， ｔｈｅｒｅａｒｅｄｉｒｅｃｔｍｅｔｈｏｄｂａｓｅｄｏｎａｔｏｍｉｃｆｏｒｃｅｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ｓｐｈｅｒｉｃａｌｓｕｒｆａｃｅｆｉｔｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄａｎｄｉｎｄｉｒｅｃｔｍｅｔｈｏｄｂａｓｅｄｏｎｔｈｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｏｆｔｈｅｒｅｆｅｒｅｎｃｅｂｌｏｃｋｏｆｆｕｓｅｄｓｉｌｉｃａ．Ｉｔｗａｓｒｅｖｅａｌｅｄｔｈａｔｔｉｐａｒｅａｆｕｎｃｔｉｏｎｃａｌｉｂｒａｔｅｄｂｙｔｈｅｄｉｒｅｃｔ ｍｅｔｈｏｄｉｓｍｏｓｔｌｙｒｅｌｉａｂｌｅａｎｄｐｒｅｃｉｓｅ，ｏｆｗｈｉｃｈｔｈｅｇｅｏｍｅｔｒｙｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙｏｆｔｈｅｔｏｐｅｎｄｏｆｔｈｅｎａｎｏｉｎｄｅｎｔｅｒｔｉｐｗａｓｔｒｕｌｙ ｆｉｔｔｅｄ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ，ｔｈｅｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇｍａｔｈｅｍａｔｉｃａｌｍｏｄｅｌｗａｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｔｏａｎａｌｙｓｉｓｔｈｅｍａｉｎｅｒｒｏｒｏｆｔｈｅＡＦＭｍｅｔｈｏｄ， ｗｈｉｃｈｗａｓｔｈｅｅｒｒｏｒｃａｕｓｅｄｂｙｔｈｅｃｕｒｖａｔｕｒｅｒａｄｉｕｓｏｆｔｈｅａｔｏｍｉｃｆｏｒｃｅｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅｔｉｐ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗ，ｕｎｄｅｒｔｈｅ