GB/T 34213-2017蓝宝石衬底用高纯氧化铝.pdf

ICS 77.120.10 H 61 OB 中华人民共和国国家标准 GB/T 34213—2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝 High purity alumina for sapphire substrate 2017-09-07 发布 2018-06-01 实施 发布 GB/T 34213—2017 ■ r ■ —— 刖 弓 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。 本标准起草单位：四川鑫通新材料有限责任公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 、四川鑫炬 新兴新光源材料有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司。 本标准主要起草人:钱幼平 、熊洲、唐大林、薛抗美、黄修康、侯龙超、张强。 T GB/T 34213—2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝 1范围 本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质 量证明书和订货单 （或合同）内容等。 本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝 （以下简称高纯氧化铝），其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧 化铝可参照本标准执行。 高纯氧化铝的分子式为Al2（）3,相对分子质量为101.96,晶型为a。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件 ，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 6609.22氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法取样 GB/T 6609.26氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法有效密度的测定比重瓶法 GB/T 14264半导体材料术语 GB/T 16418颗粒系统术语 JC/T 2147高纯氧化铝的痕量金属元素等离子体发射光谱检测方法 3术语和定义 GB/T 14264和GB/T 16418界定的术语和定义适用于本文件。 4要求 4.1产品分类 高纯氧化铝按真密度一般可分为4类，如表1所示。 表 1高纯氧化铝分类 真密度 类别 主要生产方式 g/cm3 高纯氧化铝1类 3.95 火焰法等 高纯氧化铝2类 $3.80 〜3.95 等离子法等 高纯氧化铝3类 3.00—3.80 压制烧结法、冷用祸法等