高分辨宽能段软X射线光束线热负载影响与修正.pdfVIP

激光与光电子学进展 51, 073401(2014) Laser Optoelectronics Progress ©2014《中国激光》杂志社 高分辨宽能段软X射线光束线热负载影响与修正 1,2 2 2 1 石应波 王 勇 邰仁忠 丁 洪 1 中国科学院物理研究所,北京 100190 2 中国科学院上海应用物理研究所,上海 201800 摘要 正在建设中的上海光源梦之线(Dreamline)是一条宽能段、超高能量分辨率的软X射线光束线。如此高指标的 光束线在建设过程中有许多难点需要克服，其中光学元件的热变形是达到数万分辨能力的主要障碍。梦之线采用的 5m长的波荡器会产生很高的热辐射从而使各光学元件，特别是第一块平面镜(M1)和第二块平面镜(M2)发生热形变 进而影响整个光束线的性能。因此本文计算了Dreamline各光学元件的热功率密度分布，在此基础上对各光学元件 进行了稳态热分析，得到M1、M2达到热平衡时的温度，热变形和面形误差分布，进而利用热变形结果对光束线进行 了追迹，并且设计了一套热修正装置指导单色仪自身的聚集调节从而消除镜面热变形对光束线性能的影响。结果表 明，即使在镜面热变形最高的情况下，通过对各光学元件进行有效的冷却并通过单色仪自身的聚集调节能消除镜面 热形变对光束线性能的影响。 关键词 X射线光学;热形变修正;面形误差;有限元分析;光束线追迹 中图分类号 TB24 文献标识码 A doi: 10.3788/LOP51.073401 AnalysisandCorrectionofHeatingEffectonHighResolutionand WideRangeSoftX-RayBeamline 1,2 2 2 1 ShiYingbo WangYong TaiRenzhong DingHong 1InstituteofPhysics,ChineseAcademyofSciences,Beijing 100190,China 2ShanghaiInstituteofAppliedPhysics,ChineseAcademyofSciences,Shanghai 201800,China Abstract TheunderbuildingDreamlineatShanghaiSynchrotronRadiationFacility(SSRF)isawiderange andhighresolutionsoftX-raybeamline.Therearemanydifficultiestoovercomeforbuildingabeamlinewith suchhightarget.Especially,thethermaldeformationofopticalelementsisoneofthemainobstacles.Basedon thefocalparametersofSSRF,thethermalpowerdensitydistributionabsorbedbyopticalelementsiscalculated. Finite element analysis is utilized to perform the thermo-mechanical analysis of M1 and M2 to obtain the temperaturegradientdistribution,thesurfacedisplacementsandtheslopeerrorsoftheseopticalel