开题报告-白亮.docVIP

西安理工大学 硕士研究生学位论文开题报告 题目：泡生法生长蓝宝石晶体热场分析研究 学 科 机械设计及理论 学 号 1008020189 姓 名 白 亮 导 师 刘云霞 副教授 日 期 2012年1月 西安理工大学研究生学院 2012年1月 填 写 说 明 研究生应根据开题报告各栏目的具体要求，认真撰写开题报告。 2． 开题报告一式三份，学院、学科、导师各一份。 开题报告内容（包括：1.研究背景与意义；2. 国内外研究进展；3.主要研究内容；4.研究方案和技术路线；5.课题的主要难点及拟采取解决方案；6. 预期研究成果；7.主要参考文献（在正文中必须标注)） 一. 研究背景与意义 1.背景 蓝宝石(Sapphire)是一种氧化铝(α-Al2O3)的单晶，又称为刚玉，如图1。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，强度高、硬度大、耐冲刷，可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作，因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体GaN/Al2O3发光二极管(LED)，大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。近年来，随着现代科学技术的发展，对蓝宝石晶体材料的尺寸、质量不断提出新的要求。所以低成本、高质量地生长大尺寸蓝宝石单晶已成为当前面临的迫切任务。热场部分和温控部分是蓝宝石生长设备的核心。蓝宝石的生长周期长，而且在一个封闭的环境中，由于系统的不可视，无法对晶体的生长过程进行实时观测，准确的掌握蓝宝石生长的温场情况，对有效控制晶体生长和生长过程中缺陷的形成是非常关键的，利用数值模拟分析对其进行分析，可以帮助我们了解实际的生长过程，尽而进行参数优化，改善生长条件。对有效批量的生产高质量的蓝宝石，提高晶体利用率，节约能源具有重要的指导意义。 图1 蓝宝石结晶面示意图 分子式 Al2O3 密度 3.95-4.1 g/cm3 晶体结构 六方晶格 晶格常数 a =4.758? , c =12.991? 莫氏硬度 9 (仅次于钻石:10) 熔点 2040 ℃ 沸点 3000 ℃ 热膨胀系数 5.8×10-6 /K? 比热 0.418 W.s/g/k? 热导率 25.12 W/m/k (@ 100℃)? 折射率 no =1.768 ne =1.760? dn/dt 13x10 -6 /K(@633nm) 透光特性 T≈80% (0.3～5μm)? 介电常数 11.5(∥c), 9.3(⊥c)? 表1 氧化铝(Al2O3)特性表 2.蓝宝石晶体的应用 蓝宝石晶体的化学成分为氧化铝(α-Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构，如图2、3、4所示。就颜色而言，单纯的氧化铝结晶是呈现透明无色的，因不同显色元素离子渗透于生长中的蓝宝石，因而使蓝宝石显出不同的颜色。在自然界中当蓝宝石在生长时，晶体内含有钛离子(Ti3+)与铁离子(Fe3+)时，会使晶体呈现蓝色，而成为蓝色蓝宝石(Blue Sapphire)。当晶体内含有铬离子(Cr3+)时，会使晶体呈现红色，而成为红宝石(Ruby)。又当晶体内含有镍离子(Ni3+)时，会使晶体呈现黄色，而成为黄色蓝宝石。 2.1 透红外窗口材料 1800年，英国天文学家Herschel首先发现红外辐射。几年内，人们进行了红外物理、红外光学材料、红外光学系统、红外探测器件、红外光谱学及相关应用的探索与研究，其中以军事目的为背景的研究首当其冲。20世纪50年代中期，红外点源制导型空-空导弹诞生，这就是著名的美国“响尾蛇”导弹；60年代研制出机载红外扫描仪、红外前视装备及早期的空间红外仪器；70年代涌现出通用组件式红外热像仪、星载红外预警系统和更多空间红外仪器；80年代发展以焦平面器件为基础的红外军事装备和空间红外侦察、预警技术。日前，红外技术不仅在已成功运用的领域充分发挥优势，还将更有效地应用于迅速发展的光电对抗、光通讯以及定向能武器方面。 2.2 微电子领域的衬底基片 2.2.1 半导体GaN的外延衬底基片 新型电子器件材料的选择推出了第三代半导体，宽带隙的GaN与SiC成为第三代半导体材料的代表。在第三代半导体中，GaN材料越来越受到人们的关注。GaN具有很多优点：禁带宽，电子饱和速度高、导热性能好，击穿电场高，介电常数小，热稳定性好，化学稳定性强。因此，第三代半导体的材料特性也终将导致它们会在航空航天、探测、核能开发、卫星、通信、汽车发动机、显示器、新型光源、激光打印、