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IGZO 技术解析 一、什么是“IGZO” 随著智能型手机与平板计算机等终端应用的兴起，250ppi 以上的高精细度面 板要求逐渐成为搭配趋势，也促使更多面板厂投入高精细度的低温多晶矽(Low Temperature Poly Silicon ；LTPS)TFT 扩产，但由于LTPS TFT 生产线的制程复杂 度高，且良率也是一大问题，因此面板厂积极投入金属氧化物半导体的研发工作， 目前又以非结晶氧化铟镓锌(amorphous Indium Gallium Zinc Oxide ；a-IGZO)技术 较为成熟。 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide)为氧化铟镓锌的缩写，它是一种薄膜电晶 体技术，在TFT-LCD 主动层之上打上的一层金属氧化物。IGZO 技术由夏普(Sharp) 掌握，是与日本半导体能源研究所共同开发的产品。除了夏普外，三星 SDI 以 及LG Display 也同样具备生产IGZO 面板的能力。 二、IGZO 电气特性 IGZO 与非晶质硅（a-Si ）材料相比，电子迁移率较a-Si TFT 快20 到50 倍， IGZO 使用铟、镓、锌、 氧气，取代了传统的 a-Si 现用图层，可以大大降低液 晶屏幕的响应时间，缩小电晶体尺寸，提高液晶面板画素的开口率，较易实现高 精细化，由此将简单的外部电路整合至面板之中，使移动装置更轻薄，耗电量也 降至之前的三分之二。 三、TFT 在液晶面板中的位置 目前，液晶显示器、手机屏幕、电视机产品都采用的是“主动式矩阵” ，而 这种结构采用 “薄膜电晶体” （TFT ）来作为开启和关闭像素的电气转换装置。 TFT 位于液晶面板的下方玻璃基板中的像素驱动模组中，其形态为薄膜状，与像 素元件一起嵌入在这个驱动模组当中。TFT 是对像素电容充电，并点亮像素的电 器转换装置，而IGZO 材料则使用在TFT 上。 四、 IGZO TFT 液晶面板的结构 IGZO-TFT 液晶面板采用了连续晶粒硅晶体管像素（CG 硅），它是一种低 温多晶硅，特点是电子流动性比传统的非晶体硅具有更高的流动性，使它可能与 其它部件电路形成连同置于液晶面板的玻璃基底上。通过CG 硅材料的使用，可 以让液晶面板的 PPI 达到 300 甚至更高，在 9.7 英寸的小尺寸面板上实现 2048×1536 超高分辨率了，并且其屏幕透光性、响应时间等参数指标要比 iPhone4/4S 更加出色，这些都是IGZO 材料的功劳。 五、IGZO-TFT 与a-Si TFT 液晶显示比较 与目前主流液晶屏幕采用的非晶质硅（a-Si TFT ）相比，IGZO 的优点包括： 1、低温：可在灵活或低成本的苏打石灰衬底上使用PVD 制作工艺； 2、可以以相对较低的成本在常规a-Si TFT 线路上的装配式以及在更大代数的液 晶面板生产线切割 （夏普可以用十代线切割IGZO 面板）； 3、IGZO 的光滑表面能提供更干净的界面，以提供更高的分项数字领域大门绝 缘子 4 、IGZO-TFT 透明，而且对可见光不敏感，所以大大增加了器件开口率，从而 提高了亮度，降低功耗，可以让透过更多的光线，减少光通量的损失； 5、良好的均匀性和稳定性：IGZO 同样是采用非晶，因为单晶的制备非常的昂 贵，而多晶的导电性很不均匀，很容易像素点之间亮度不一致。非晶胜在导电性 均匀又便宜，性质不好，但在目前工业应用上是足够的。 6、可控制TFT 材料的金属成分和沉积参数； 7、提供更低的功耗和更快的响应时间（功耗与OLED 接近，但厚度比OLED 高 25%左右）； 8、可生产高像素密度（更大的分辨率）驱动更高刷新率（240Hz 或更高）的液 晶面板； 9、IGZO 具有很好的弯曲性能，能够很好的配合柔性 OLED，同样可用于生产 OLED 面板。 六、IGZO 技术趋势 从上游液晶面板厂商的计划和动作来看，The New iPad 只是IGZO 液晶面板 小试身手的舞台，而未来不论是夏普、三星SDI、LG Display 友达光电都计划推 出更大尺寸的IGZO 面板（如三星的70 英寸4K×2K 液晶面板等等），此外不少 日系厂商也将加入到小尺寸高分辨率的战局