薄膜材料介电常数的测量.pdfVIP

第五届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下) 薄膜材料介电常数的测量 吴平，张师平，闰丹，陈森 (北京科技大学应用科学学院物理系，北京100083) 摘要：薄膜材料的介电常数是电介质薄膜材料研究中需要测量的一个基本物理量， 本文讨论了用阻抗分析仪测量薄膜材料介电常数的方法。用Agilent4294A高精度阻抗分析 仪、16047A夹具以及探针平台搭建了薄膜材料c．V曲线测量平台，测量了Hf02薄膜介电 常数。薄膜材料介电常数测量实验可作为大学物