YST 1300-2019《氯硅烷中甲基二氯 硅烷、三 甲基氯硅 烷、甲 基三氯 硅 烷的测定 气相色谱质谱联用法》（报批稿）.pdf

ICS 77.040 H 17 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1300-2019 ___________________________________________________________________________________________ i 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、 甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用 法 Determination of methyldichlorosilane，trimethylchlorosilane and methyltrichlorosilane in chlorosilanes—Gas chromatography-mass spectrometry method （报批稿） XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX - XX 实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T XXXX—XXXX 前 言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委 员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。 本标准起草单位：内蒙古盾安光伏科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、青海黄河上游水 电开发有限责任公司新能源分公司、宜昌南玻硅材料有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、新 特能源股份有限公司。 本标准主要起草人：齐林喜、姚利忠、侯海波、张艳玲、折科、楚东旭、薛心禄、刘强、程远 梅、邱艳梅。 I YS/T XXXX—XXXX 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气 相色谱质谱联用法 警告——使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问题。 使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。 1 范围 本标准规定了氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的气相色谱质谱联用的测 定方法。 本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定，3 种含碳化合物 的测定范围均为0.1 mg/kg～1000 mg/kg。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T 4946 气相色谱法术语 3 术语和定义 GB/T 4946界定的术语和定义适用于本文件。 4 方法原理 将氯硅烷样品经液体进样口导入气相色谱-质谱联用仪（GC-MS），经毛细管色谱柱将氯硅烷主体和 含碳杂质分开，采用全扫描方式定性含碳杂质的存在形式及其保留时间，用外标法选择性离子扫描对氯 硅烷中含碳杂质进行定量，获得氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的含量。 5 干扰因素 5.1 测试用的化学试剂应满足一定的纯度要求，纯度较低的试剂对测试结果影响较大，且会造