二元光生学器件设计理论及并行制作技术分析.docx

国防科学技术大学研究生院学位论文摘要 国防科学技术大学研究生院学位论文 摘要 二元光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支，是光学与微电子技 术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。二元光学器件，亦称衍射光学器件，具有体积 小、重量轻、易复制、造价低、衍射效率高、设计自由度多、材料可选性宽、色散性 能独特等优点，并能实现传统光学器件难以完成的微小、阵列、集成及任意波面变换 等新功能，在诸如空间技术、超精密加工、微光机电系统、计算机技术、信息处理、 光纤通信、生物医学、国防军事及娱乐消费等众多领域有很广泛的应用前景。 本文围绕二元光学器件的设计和制作等相关理论、方法及技术，研究了二元光学 器件的精细化设计理论、色散特性分析、并行制作技术及新型器件设计等内容。主要 研究工作和所取得的成果可归纳如下： 1．基于基尔霍夫标量衍射理论，从空间频谱角度出发，首次系统地建立了精细 化设计时输入、输出平面的抽样理论。发现了空间延拓分量的存在及交叠现象，详细 研究了其形成机理，导出了消除其影响的相应条件。深入地探讨了输出图样在非抽样 点上的失真机理。给出了不同优化算法的近似抽样原则，并通过仿真实验验证了精细 化设计时抽样理论的有效性。 2．基于杨．顾算法的基本原理，提出了扩展的二维杨一顾算法和改进的加权杨-顾 算法。详细研究了二者的理论模型、迭代算法和基本运算步骤，从理论上证明了加权 杨．顾算法的收敛性。二维杨．顾算法可用来设计任意结构的二维衍射光学元件，包括 非旋转对称和具有非分离变量相位函数的非对称结构。而改进的加权杨垌《算法t可 明显改善普通杨．顾算法对初始值选择的敏感性，避免搜索过程陷入局部极值点，同 时提高衍射光学器件的性能。 3．利用材料折射率随波长变化的经验公式，系统地研究了衍射光学透镜的色散 特性，详细分析了焦平面和轴向光强分布、衍射效率、焦距同波长、结构参数、材料 因子之间的关系。导出了小数值孔径衍射和谐衍射透镜设计公式成立的前提条件，给 出了更为准确的设计公式。利用旋转体时域有限差分法，首次探讨了二元亚波长衍射 微透镜的聚焦特性和色散规律。设计了一个由相位型分束器和衍射透镜组合而成的纯 衍射消色差分柬组合器件，该组合器件可有效地消除分柬器在垂轴方向上的色散。 4．结合严格耦合波分析理论和遗传算法，首次提出了一种设计亚波长Dammmm 光栅的新方法，且该新型二值相位光栅具有较高的衍射效率。分析了制作误差对其衍 射效率和光强均匀性的影响，设计了多个新型二值相位光栅，其衍射效率均超过90％t 比传统的Darnmmm光栅有较大的提高。 5．首次提出了基于电寻址透射式强度型空间光调制器的灰度掩模并行制作方法。 第V1页 国防科学技术大学研究生院学位论文详细研究了该制作系统的基本原理、总体方案及控制流程。深入地分析了光源、空间 国防科学技术大学研究生院学位论文 详细研究了该制作系统的基本原理、总体方案及控制流程。深入地分析了光源、空间 光调制器、精缩投影物镜、二维气浮平台、图形生成软件等关键单元，综合集成了原 型样机系统。建立了灰度掩模等级精度的精确控制模型，给出了相应的控制策略，以 利于曝光剂量的精确控制，制作了部分二元掩模和灰度掩模。 所提出的灰度掩模制作方法，采用逐个图形曝光的方式，可大大提高掩模制作速 度，缩短生产周期，降低加工成本，并可使灰度掩模的最小特征尺寸达到微米级，同 时亦可实现灰度掩模制作设备的廉价化。 6．首次提出了基于电寻址透射式强度型空间光调制器的二元光学器件并行直写 方法。详细研究了该制作系统的基本原理、总体方案及控制流程。提出了分别利用衍 射微透镜阵列和光束整形器件阵列消除空间光调制器“黑栅”效应的两种方法，建立了 光学子系统的理论建模，给出了仿真研究结果。在分析并行直写光刻工艺流程的基础 上，建立了多台阶或连续浮雕结构器件在光刻胶上的面形控制模型，给出了相应的控 制策略，制作了部分衍射光学器件。 所提出的二元光学器件并行直写方法，具有内在的并行特性，可大大提高直写速 度，降低加工成本。利用空间光调制器的优越性能和新型光学子系统，可使所制作器 件的最小特征尺寸达到亚微米级，并有利于减小深度加工误差，为生产超精细结构和 连续轮廓的高性能器件创造了有利条件，同时亦可实现二元光学器件直写设备的廉价 化。 关键词；二元光学器件精细化设计 加权杨-顾算法色散特性消色差分束组合 器件亚波长Dammann光栅 灰度掩模并行直写空间光调制器 第Vl[页 国舫科学技术大学研究生院学位论文ABSTRACT 国舫科学技术大学研究生院学位论文 ABSTRACT Binary optics is a new and developing branch of optics based on the optical wave dif