空气静压导轨的应用研究-光学精密工程.pdf

, 第 卷 第 期 光学 精密工程 年 月 ! ∀ # ! ∀#∃ # ! ∀ ! , 空气 压 的 用研究 静 导轨 应 庄 夔 薛洪俊 柴 青 五 , 上海 学 系 上海嘉定 , 心 无锡减振器公司 无锡 南方 中 , 要 型 座 测量机 的导 行 型设 将原来的滚动导轨 为空气静 摘 对小 三 标 轨进 改 计 改 , , 导 出了一 的空 压导 优 设 方法 给 出 结 介绍 了 垫压 压 轨 提 种新 气静 轨的 化 计 计算 果 气 理 和试 研 , 理论 验结 趋 一 力分布的 论分析 验 究 其 计算与试 果 向 致 , 空 压导 座 测 机 垫 关键词 气静 轨 三 标 量 气 前 言 测 测量 器, 三 测 , 广泛应用于工厂的 量室和 三座标 量机是高效的精密 仪 可作零件的 维 量 计 。 、 、 , , , 器 由测头座 横 导 组 采用空气 压导轨 如 计量部门 该仪 梁 轨工作台等部件 成 近年来