微奈米工程技术.doc

PAGE PAGE 1 南台科技大學93學年度第2學期課程資訊 課程名稱 微奈米工程技術 課程編碼 11N15801 系所代碼 1 開課班級 夜四技汽車四甲 開課教師 王森川 學分 3.0 時數 3 上課節次地點 四11 12 13 教室K401 必選修 選修 課程概述 課程目標 使學生了解微奈米科技之定義；特性及其應用，微奈米工程技術的領域，微奈米加工、定位、檢驗及量測、次世代微影技術、平面顯示器、薄膜沉積及蝕刻等工程技術。 課程大綱 1.微機電及奈米工程技術之定義、特性及應用 2.光刻模造及類光刻模造技術 3.薄膜沉積技術 4.蝕刻技術 5.奈米材料（奈米碳管、奈米碳球、光觸媒、光子晶體、量子點等） 6.奈米碳管之裝備及其應用 7.奈米加工（奈米壓印微影、沾筆式微影、步進壓印微影、雙光子聚合加工、軟微影、步進曝光微影、原子力顯微術、雷射輔助直接壓印、微影導引自動組合…） 8.奈米量測（原子力顯微鏡、掃描穿隨顯微鏡、掃描電子顯微鏡、掃描近場光學顯微鏡） 9.次世代微影（極紫外線微影、液浸微影、電子束投影微影、多重電子束微影） 10.奈米生醫（藥物輸送系統、微流體晶片、微全分析系統） 11.奈米電子（單電子晶體、奈米硬碟） 12.平面顯示器（奈米碳管場發射顯示器、液晶顯示器、發光二極體） 1.Definition, Characteristics and applications of MEMS and Nanotechnology 2.LIGA and LIGA-Like 3.Thin film Deposition technology（PVD,PECVD,ECR CVD,AL CVD） 4.Etching technology（Anisotropic Etching, Reactive Ion Etching） 5.Nano materials（Carbon nanotube, Carbon nano capsule, photo catalyst, photonic crystal, Ouantum dot…） 6.Manu facturing and applications of Carbon nanotube 7.Nano fabrication（Nano Imprint Lithography, Dip Pen Lithography, 2 Photons Polymerization, Soft Lithography, Atomic Force Microscopy, Laser Assisted Direct Imprint, Lithographically Induced Self Assembly…） 8.Nano measurement（Atomic Force Microscope, Scanning Tunneling Microscope, Scanning Electron Microscope, Scanning near field Optical Microscope） 9.Next generation Lithography（Extreme Ultraviolet Lithography, Liquid Immersion Lithography, Electron Beam Projection Lithography, Multi2-electron Beam Lithography） 10.Nano biomedical（Drug Delivery System, Microfluidic chips, Micro Total Analysis System） 11.Nano electronics（Single Electron Transistor, Nano Drive） 12.Flat Panel Display（Carbon nanotube Field Emission Display, Liquid Crystal Display, Light Emitting Diode） 英文大綱 教學方式 評量方法 1.研討作業成績 2.課堂學習狀況考核 3.平時考試(30%) 4.期中(30%)及期末(40%)考試 指定用書 講義 參考書籍 1.奈米科技與產業導論 2.奈米科技 3.奈米材料 4.奈米光電 5.奈米加工及合成設備 6.微奈米工程精密製程與量測技術 7.奈米技術與應用 8.微機電工程技術 9.研討會資料 10.微奈米工程技術網站資料 先修科目 教學資源 注意事項 全程外語授課 授課語言1 授課語言2 輔導考照1 輔導考照2