微波二极管量子效应和热电子器件半导体器件物理.doc

文档下载 免费文档下载 / 　　 本文档下载自文档下载网，内容可能不完整，您可以点击以下网址继续阅读或下载： /b-2d7334b7fab069dc5022016f.html 8微波二极管、量子效应和热电子器件(半导体器件物理) 现代半导体器 件物理与工艺Physics and Technology of Modern Semiconductor Devices 微波二极管、量子效应和热 电子器件2004,7,30 桂林电子科技大学 现代半导体器件物理与工艺 微波二极管、量子效应和热电子器件 1 [此处图片未下载成功] 本章内容 基本微波技术 隧道二极管 碰撞电离雪崩渡越时间二极管 转移电子器件 量子效应器件 热电子器件 桂林电子科技大学 现代半导体器件物理 微波二极管、量子效应和热电子器件 2 [此处图片未下载成功] 基本微波技术微波频率涵盖约从 0.1GHz 到 3000GHz ,相当于波长从 300cm到0.01cm。 一般电子部件在微波频率与其在较低频率的工作行为是 不同的。在微波频率时，需将分布效应列入考虑，因为在这 些频率，波长约与部件的实际大小相当。例如，在微波频率 下，一个薄膜电阻器看起来像一个具有连续 L、C和不同R值 的复杂RLC电路。这些分布式部件，虽然在较低频率下可以 忽视，但在微波频率下却有极大的重要性。在微波频率，电 容与电感常被看作为输运线的一部分。输运线也常被用作微 波电路的互连线。输运线实际上是一个由电阻、电容、电感 三种等效基本电路部件所组成的复杂网络。平面输运线是现 代微波电路技术的主流。此输运线由位于表面接地的薄膜介 电层衬底上的一个或多个平面导体所组成。 桂林电子科技大学 现代半导体器件物理 微波二极管、量子效应和热电子器件 3 [此处图片未下载成功] 基本微波技术下图显示好几个平面输运线基本的形式：微细长片、同 平面波导(CPW)细长线和悬吊衬底细长线(SSSL)。 (a ) 微细长片 (b) 平面波导(CPW)细长线 (c) 悬吊衬底细长线SSSL 图 7.2 平面运输线的基本形式 微细长片是输运线最常用的形式，同平面波导的损耗性 较大，亦即传递信号的损失是较大的，但是它可以使接地的 寄生电感减为最小。这些输运线的/b-2d7334b7fab069dc5022016f.html特征阻抗Z0为 R j L Z0 G j C 其中R是单位长度电阻，G是单位长度电导，L 是单位长度电 感，C是单位长度电容，w是角频率。桂林电子科技大学 现代半导体器件物理 微波二极管、量子效应和热电子器件 4 [此处图片未下载成功] 基本微波技术在微波电路中；相对于电抗，电阻是非 常小的，因此前式可简化成 C 对于特定形式的输运线，其特征阻抗是 导体几何尺寸(大小、间距)及两导体间绝缘介 质介电常数的函数。 a ( a) 共振器形状 在较低的微波频率下，可以利用电感和电容部件来制作共振电路。 2 然而，在毫米波和较高频率时，共振时的LC值在实际应用上是很小的， 因此必须使用可以产生共振的其他方法。一个普通的解决方法是共振腔 ，也称作是调谐腔。 共振腔是一个金属壁腔， 是由低电阻值金属包住良好介电物质所制 (c) 电场图案 成。它类似于两端被短路的波导部分，且可以入射能量进腔体或是从腔 (b) 磁场图案 体汲取能量。如图所示，腔体可以拥有横向电场 (TE) 图和横向磁场 7. 3 共振腔 (TM) 两 种传输模式。桂林电子科技大学 现代半导体器件物理 微波二极管、量子效应和热电子器件 5 [此处图片未下载成功] 基本微波技术共振腔体内的共振模式发生在沿着 z轴方向长度d为半波长时的频率。 对于腔体内的模式，是以字母数字组合Txm,n,p来代表，其中x对主模式是电 场时为E,是磁场时为M;m是a在尺寸方向半波长的个数；n是在b尺寸方 向半波长的个数；p是在d尺寸方向半波长的个数。对于腔体的共振频率， 与模式有关的方程式为 2 m n p a b d :///b-2d7334b7fab069dc5022016f.htmlar或 m n p fr 2 a b d 其中μ和ε 是腔体内材料的磁导率和介 电常数。且真空下 1 / 0 0c是真空中的光速. a ( a) 共振器形状 桂林电子科技大学 现代半导体器件物理 微波二极管、量子效应和热电子器件 6 [此处图片未下载成功] 隧道二极管隧道二极管隧道二极管与量子隧穿现象息息相关，因为穿越器件的隧穿时间非常短 ，故可应用于毫米波区域，且因为隧道二极管为相当成熟的技术，因此常被 应用