废水、废液工程技术要求及招标规范.docVIP

东营中联国际集成电路废水处理厂 新建工程 技术要求及招标规范 目 录 TOC \o 1-1 \h \z \u 一、技術要求及招標規範範圍說明 2 二、規範和條例 2 三、技術說明 4 四、廢水處理工藝設計要求 9 五、工藝流程及PID圖 10 六、設備規格及廠牌 12 七、電氣控制工程說明 14 八、防腐工程說明 19 九、管線工程說明 20 十、廢水工程介面說明 23 十一、投標文件 25 东营东芯集成电路 废水处理厂新建工程 技术要求及招标规范 一、技术要求及招标规范范围说明 有关本合约废水处理工程的各系统装置的设计、供应、安装、调试、操作及维修等技术之要求，于本技术规范书及有关图纸内详细说明，以提供符合本合约要求的工程设计、制造至完工的各项细则。为能妥善完成本合约内各项工程事项，承包商须按要求提供一切所需的设计人员、施工及监督人员、材料、工具、物料、设备、储存、各有效的证件、图纸、临时施工措施、工地安全、检查、调试及运行等事项。 第1节 结束 二、规范和条例 所有设备、材料的供应和施工工艺，必须符合下列各机关、部门所颁布的最新的法定职责、条例、规格、标准、施工准则和业务条例： 所有中国中央和当地政府机关及部门，包括但不仅限于以下所列的单位： 消防局 规划局 环境保护局 卫生防疫局 自来水公司 环境卫生管理局 供电局 排水管理处 所有中国中央和当地所制定的规范和准则，以及国际认可的规例和标准，最新版本，包括以下, 但不仅限于以下所列： 《建筑设计防火规范》GB50016-2006 《工业金属管道设计规范》GB50316-2000 《工业设备及管道绝热工程设计规范》GB50264-97 《城市区域环境噪声标准》GB3096-93 《工厂企业厂界噪声标准》GB12348-90 《工厂企业噪声控制设计规范》GBJ87-85 《环境空气质量标准》GB3095-1996 《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996 《污水综合排放标准》GB8978-1996 《建筑给水排水设计规范》GB50015-2003 《建筑给水排水管道工程施工及验收规范》GB50268-97 《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB50242-2002 《电子工业职业安全卫生设计规定》SJ30002-92 《压力容器安全技术监察规程》(质技监局锅发[1999]154号) 第2节 结束 三、技术说明 3.0.1废水来源 本废水处理工程, 为收集8”晶圆生产工艺所产生的各类废水及废液, 废水、废液分类说明如下: 项次 废水分类 废水来源 1 IWW 一般酸碱废水 制程系统一般酸碱废水 2 FWW 含氟废水 制程系统含氟废水 酸处理塔排水 HF废液定量输送 3 AW 酸性含磷废水 制程系统酸性含磷废水 4 AHWW 含氨废水 制程系统含氨废水 氨气吹脱及吸收塔排水 5 CMP 研磨废水 制程系统背晶研磨废水 制程系统金属研磨废水 制程系统电介质研磨废水 制程系统多晶硅研磨废水 6 回收水 制程系统清洗水 3.0.2废水废液水质特性 各类废水及废液成份, 如下列各表参考说明, 供投标厂商进行工艺设计评估, 惟投标商需考虑8晶圆厂通用水质作完整考虑, 以确保废水处理系统达标排放. 废液成分 名称 成分 处理方式 硫酸废液 浓度80%左右 收集委外处理 HF废液 浓度20% 收集委外处理/定量输送至含氟废水处理系统处理 光阻液废液（PIX） - 收集委外处理 去光阻废液（STRIPPER） - 收集委外处理 减薄废液（THINNER） - 收集委外处理 有机溶剂废液(IPA) - 收集委外处理 IWW一般酸碱废水水质特性 分析项目 浓度范围 pH 2～13 COD(mg/L) ＜150 FWW含氟废水水质特性 分析项目 浓度范围 平均值 pH 1.0～3.0 2.5 F-(mg/L) 500～1200 1000 SS(mg/L) 50～300 175 SO42-(mg/L) 1000～2200 1600 PO43-(mg/L) ＜5 3 AW酸性含磷废水水质特性 分析项目 浓度范围 pH 1～3 PO43- (mg/L) 100～500 AHWW含氨废水水质特性 分析项目 浓度范围 pH 2～12 NH3-N(mg/L) ＜2000 F-(mg/L) ＜300 H2O2(mg/L) ＜100 CMP研磨废水水质特性 分析项目 浓度范围 pH 2.5～10.5 SS(mg/L) 100～1000 NH3-N(mg/L) ＜15 TOC(mg/L) 1～80 SiO2(mg/L) 0.5～200 回收水水质特性 分析项目 浓度范围 pH 6～9 电导度(us/cm) 1000～2