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ICS 71.100.20
G 86
团 体 标 准
T/CCGA 30001—2019
超纯氨
Ultra pure ammonia
（征求意见稿）
2019-xx-xx 发布 2019-xx-xx 实施
中国工业气体工业协会 发 布
T/CCGA 30001—2019
目 次
前言 II
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 技术要求 1
4 试验方法 2
5 标志、包装、贮运及安全 3
I
T/CCGA 30001—2019
前 言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。
本标准起草单位：xxxxxx。
本标准主要起草人：xxx、xxx、xxx。
II
T/CCGA 30001—2019
超纯氨
1 范围
本标准规定了超纯氨产品的分类与型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮
存等。
本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子
氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。
分子式：NH 。
3
相对分子量：17.031(按2005年国际相对原子质量)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法
GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
TSG R0006 气瓶安全技术监察规程
3 技术要求
3.1 产品质量
超纯氨产品的质量应符合表1的要求。
3.2 重金属含量
超纯氨重金属含量应符合表2的要求。
表1 超纯氨产品技术指标
项目 超纯氨
氨（NH ）纯度（体积分数）/10-2 ≥ 99.99999
3
氢（H ）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.01
2
氧+氩（O +Ar）含量（体积分数）/10-6
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