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国环评证乙字
第 2 5 0 9 号
河南硅烷科技发展股份有限公司
年产2000 吨硅烷气项目
环境影响报告书
(报批版)
建设单位:河南硅烷科技发展股份有限公司
环评单位:河南省冶金研究所有限责任公司
二〇一六年三月●郑州
第1章 总论
第1章 总论
1.1 项目背景及环评任务由来
近年来,硅烷类的高科技应用正在不断的涌现,包括用于制造先进陶
瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等,成为许多新技术、新
材料和新器件的基础。
硅烷最早实用化和目前应用量最大的是作为生产高纯度硅的中间产
物。硅烷另一应用是生产非晶体硅,非晶硅的特点是容易形成极薄的(厚度
10nm 左右) 大面积器件, 衬底可以是玻璃、不锈钢、甚至塑料, 表面可
以是平面也可是曲面, 因此可以制成各种性能优异的器件。硅烷也是半导
体微电子工艺中使用的主要特种气体之一,用于各种微电子薄膜制备,包
括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子
应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延,不仅用于硅器件
和硅集成电路,也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等),在超晶格
量子阱材料制备中也有应用。可以说,现代几乎所有先进的集成电路的生
产线都需用到硅烷。
在此背景下,河南硅烷科技发展股份有限公司借助上海交通大学的基
础实验成果和化学工业第二设计院宁波工程有限公司的研发设计能力,以
及在河南省襄城县煤焦化循环经济产业园内进行的 600 吨硅烷气生产示
范项目成功运行基础上,投资 9600 万元建设年产 2000 吨硅烷气项目,
以开发新的有竞争力的硅烷生产工艺并取得大规模生产实践的经验。
河南硅烷科技发展股份有限公司原为许昌首山天瑞科技有限公司,中
国平煤神马集团控股子公司,在襄城县煤焦化循环经济产业园建设该项
目,可依托集团内其他子公司资源、能源,项目所用蒸汽来自许昌首山焦
化有限公司(以下简称首山焦化公司),项目所用氢气来自河南省首创化
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第1章 总论
工科技有限公司(以下简称首创化工公司),首创化工公司与首山焦化公
司也是中国平煤神马集团下属单位。
项目符合河南省襄城县煤焦化循环经济产业园总体规划及准入政策,
符合国家相关产业政策的要求,2015 年 11 月 16 日在襄城县发展和改革
委员会备案并经许昌市发展和改革委员会复核同意,备案编号为:豫许襄
城制造[2015]22472。
根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境影响评价分
类管理名录》、《河南省建设项目环境影响评价文件分级审批规定》和有关
规定,该项目需编制环境影响报告书。为此,河南硅烷科技发展股份有限
公司委托河南省冶金研究所有限责任公司承担该项目的环评工作。接受委
托后,我单位通过实地调查并根据该项目和当地环境实际情况,确定评价
工作深度,在对《河南硅烷科技发展股份有限公司年产 2000 吨硅烷气项
目可行性研究报告》研读的基础上,结合现场踏勘调查的实际情况,对厂
址区域环境空气、地表水、地下水质量现状进行监测,对工程污染因素、
清洁生产水平、污染防治措施以及工程建成后对环境的影响等进行了分析
评价,编写完成了《河南硅烷科技发展股份有限公司年产 2000 吨硅烷气
项目环境影响报告书》。
在报告书编制过程中得到许昌市环境保护局、襄城县环保局、襄城县
煤焦化循环经济产业园及河南硅烷科技发展股份有限公司的大力支持和
配合,在此一并表示诚挚的谢意。
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