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单晶硅制绒工艺文件 目录 TOC \o 1-3 \h \u 1.目的 4 2.适用范围 4 3.职责 4 4. 制绒工艺 4 4.1 制绒目的 4 4.2 工艺原理 4 4.2.1 碱制绒原理 4 4.2.2 HCl酸洗作用 5 4.2.3 HF酸洗作用 5 4.3 工艺流程 5 4.4 操作注意点 6 4.4.1开包和插片注意点 6 4.4.2 数量校对 6 4.4.3 抬花篮架注意点 7 4.4.4 配液和加液注意点 7 4.4.5 手动操作的时候注意点 7 4.5 工艺参数 7 5. 异常处理 8 5.1白斑 8 5.2 发白 8 5.3 小雨点 8 5.4 水纹 9 5.5 发亮 9 6. 检验卡片 10 7. 制绒工序控制点 11 8. 设备维护标准 12 8.1 换槽维护标准 12 8.2 每周一大维护标准 12 8.3 大维护周期 12 8.4 制绒辅助用品的清洗与维护 12 9. 安全规范 13 1.目的 确保制绒工艺处于受控和稳定的状态。 2.适用范围 适用于本公司单晶制绒工序。 3.职责 本文件由工艺部负责制定，更新和修订，由工艺主管监督并保证如实执行，工艺部具体执行。 本文件的必须经过工艺部的签字认可并备案，方可交付执行。 4. 制绒工艺 4.1 制绒目的 4.1.1 去除硅片表面污染和损伤层。 4.1.2 在硅片表面形成金字塔，减小反射率。 4.1.2 为扩散准备一个良好的基底。 4.2 工艺原理 4.2.1 碱制绒原理 在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。 NaOH作用：腐蚀硅片，与硅反应。 化学反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑。 Na2SiO3作用：减缓反应，起到缓冲剂的作用 IPA作用：降低溶液的表面张力，起到减小气泡、消泡和调节金字塔大小的作用。 4.2.2 HCl酸洗作用 利用HCL的酸性和Cl-的络合能力去除硅片表面残留的金属离子。 4.2.3 HF酸洗作用 去除硅片表面的二氧化硅氧化层，把硅羟基转变为硅氢键，使硅片表面转变为疏水性，从而去除由水层带来的污染。 4.3 工艺流程 单晶制绒工艺流程图 过程检验开包检验 不合格 过程检验 开包检验 合格 插片 插片 1 1号预处理槽 2 2号QDR清洗槽 6号、7号制绒槽3 6号、7号制绒槽 3号、4号制绒槽 5号 5号QDR清洗槽 8号QDR清洗槽 9号混酸槽 9号混酸槽 10号 10号OF槽 11号混酸槽 11号混酸槽 12号 12号QDR清洗槽 13号慢提拉槽 13号慢提拉槽 14号烘干槽 14号烘干槽 不合格质检 不合格 质检 异常处理 异常处理 合格 合格 转入扩散工序 转入扩散工序 4.4 操作注意点 4.4.1开包和插片注意点 4.4.1.1用美工刀时，深度不能超过包装盒的厚度，防止刀片将硅片划伤。 4.4.1.2整个插片过程中，禁止裸手与片盒接触，避免片盒与衣物接触； 4.4.1.3双手须戴PVC手套，手指上需套手指套，手指禁止接触硅片表面； 4.4.1.4手套须洁净、无破损、无汗迹，每插1000片硅片需更换手套； 4.4.1.5片盒需保持干净，不允许贴标签。 4.4.1.6插片过程中，须将有崩边、严重线痕、翘曲、油污片、原损片（穿孔、缺角、隐裂等）、明显偏厚或偏薄等不合格硅片挑出（除包装盒上写明不合格硅片类型外）。具体标准，参考《原硅片来料检验标准》。 4.4.2 数量校对 插完一个包装盒内的硅片后，核对硅片的数量是否与泡沫盒盖上标示的相符合。 插片具体操作，参考《制绒插片操作工艺规范》 4.4.3 抬花篮架注意点 需双人双手抓住花篮架抬，防止花篮架变形。严禁单人操作！ 4.4.4 配液和加液注意点 在预清洗槽和制绒槽初始配液跟加液过程中，操作员务必佩戴PVC手套跟口罩，佩戴手套不能露腕以免药液溅出伤害身体。 在混酸槽初始配液补液过程中，操作员必须佩带橡胶手套、3M防毒面具、橡胶防护围裙等劳保用品。加液过