超精密抛光与鲁棒控制开题报告.pptxVIP

气液固三相流抛光实验平台的稳定性和鲁棒控制方法研究 Research on robust stability of Gas-Liquid-Solid three-phase flow polishing experiment platform 答辩人：Sydail Huang 指导老师：Shiming Ji Dapeng Tan 内容摘要 浙江省自然科学基金项目: “气液固三相磨粒流超光滑表面抛光方法及其微气泡与气流驱动加工机理研究 ” 1. 提出一种全新的超光滑表面抛光方法 2. 微气泡溃灭机理 3. 高速气流驱动磨粒流形成磨粒旋流的机理 现有表面粗糙度值可以达到1nm Rms以下的加工方法： 弹性发射抛光 磨粒射流抛光 [7] [8] 加工效率低等缺陷 磨粒射流抛光 [1-3] 加工效率低等缺陷 提出一种革命性的高效抛光方法 气液固三相磨粒流抛光系统 是否增加气相的圆形铝盘在等同参数下对比实验 目标输入 控制器 控制输入 控制对象 外部扰动 传感器 目标输入 控制对象输出 需要考虑的不确定性： 1 经典控制 : 频域法、传递函数、PID控制等 MIMO系统控制遭到挑战 2 3 后现代控制 : 2 现代控制 : 时域法、状态空间模型、LQG控制 对系统所存在的干扰信号做了苛刻 [9-12] 1.