微系统设计讲义.ppt

不同驱动电压对电动进样的影响 GND GND GND 1 GND GND GND 1 1 1 4 3 3 3 1 1 电动进样过程中，样品的扩散可以通过电动控制来抑制 芯片的主要设计参数 微管道 宽度50微米,深度50~100微米 长度3~10厘米 微电极 工作电极宽度50微米 工组电极离管道出口处距离50~100微米 信号转换 电化学检测 电压正向扫描时，在电极上发生氧化 : 电压反向扫描时，在电极上发生还原 : 微电极在标准铁氰化钾溶液中循环伏安法电压信号示意图 微电极在铁氰化钾标准溶液中的氧化还原曲线图 PMMA微管道显微镜CCD图 封装后的电泳芯片 96根电泳管道阵列芯片 检测装置 阵列电泳芯片 环境分析 电化学检测的毛细管电泳芯片 Life on Mars? --- Detecting amino acids on the red planet  外太空有生命吗？ 生命存在的必要条件 liquid water（水是生命之源） organic molecules capable of forming combinatorial polymers a redox energy source 火星上可能存在水 通过穆斯堡尔谱探测发现到有黄钾铁矾盐，这只能在有水的条件下形成 “机遇号”(Opportunity)火星探测器探测到可能是由于水流冲击行程的痕迹 氨基酸在生命科学中的地位 氨基酸和核苷酸是动植物体内普遍存在和最最重要的两种生物小分子，它们是建造生命大厦的砖块和石头。 目前地球上的氨基酸全部是左旋手性的，具有可以合成为蛋白质的特性。右旋的氨基酸存在于外太空。如果能够探测到火星上的氨基酸呈现左旋特性，则可以证明这些氨基酸是来之具有生命存在的星球。目前陨石中发现的氨基酸都是消光旋特性的，即左旋和右旋基本一致。 MOA Mars Organic Analyzer (MOA) was flied to aboard NASA/s roving, robotic Mars Science Laboratory mission and/or the European Space Agencys ExoMars mission, both scheduled for launch in 2009.Two development grants from NASA totaling nearly $2.4 million。 Atacama Desert ，Chile The Rock Garden – one of the soil sampling sites in the Atacama Desert, Chile The Soil Pit – another soil sampling sitein the Atacama Desert An overview of the Panoche Valley site, with the RV in the distance Panoche Valley Life on Mars? --- Detecting amino acids on the red planet  6.1 系统的基本描述 系统组成：高压电源、微管道、驱动电极、检测装置（光学检测、电化学检测） 产品定义 初始设计 材料选择 设计约束 制造工艺 信号转换 机电系统 封装测试 概念设计 设计分析 设计确认 投片、测试 6.2 系统的初始设计 设计约束 低成本、便携性、电极集成… 材料选择 基底材料（玻璃、高聚物等） 薄膜微电极（Pt，Au等） 制造工艺选择 光刻法 体硅工艺法 UV－LIGA法 信号变换 化学－光学信号？ 电学信号？ 机电系统设计 微流体驱动、控制特性等 封装 毛细管电泳芯片 材料 检测 加工 石英、玻璃 PDMS PMMA 光学检测 电化学检测 质谱检测 微管道 驱动电极 键合封装 特点：多功能、快速、高效、低耗和便携性 应用：生物、化学、环境、药品、食品、医疗等领域 具有广阔的市场化前景 批量化 集成化 便携化 质量高 6.3 设计分析 芯片结构设计 原型样机制作 测试检验 是否符合要求 批量化制作 否 加工和工艺设计 芯片批量化制作工艺研究流程 电泳芯片制作方法 短周期，单件 周期长，批量化 集成化 PMMA－SU8 PMMA-PMMA 光刻法 UV-LIGA法 Lift-Off法 热压键合法 表面改性键合法 微管道 微电极 键合封装 样机制作 批量制作 芯片的设计直接应用到批量制作工艺中 微管道加工方法 腐蚀法、刻蚀法