扫描电子显微镜原理部分.ppt

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4、真空系统 作用:扫描电镜靠电子来扫描物体表面来成像,空气的存在会使电子束变形,影像扫描效果。 5、电源系统 作用:供给各部件所需的特定电源。 张新言,李荣玉.扫描电镜的原理及TFT-LCD生产中的应用[B].现代显示,2010(01). 1、电子光学系统(镜筒):镜筒的作用是产生很细的电子束,并使该电子束聚焦于样品表面进行扫描,同时激发出各种信号。 2、电子信号的收集与处理系统:在样品室中,扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号,其中最主要的是二次电子,它们经聚焦、加速后打到探测器上,形成信号,此信号反映试样表面的形貌、成分。经放大后送至显像管。 3、电子信号的显示与记录系统:显像管荧光屏上的任一点亮度与试样表面上相应点发出的二次电子数一一对应,结果在荧光屏上形成一试样表面的像。 4、真空系统:扫描电镜靠电子来扫描物体表面来成像。空气的存在会使电子束变形,影像扫描效果。 张新言,李荣玉.扫描电镜的原理及TFT-LCD生产中的应用[B].现代显示,2010(01). 二次电子像:当样品中存在突起小颗粒或夹角时,这些部位处的电子离开表层的机会更多,即在电子束作用下产生比其余部位高得多的二次电子信号强度,所以在扫描像上会有异常亮的衬度。 背散射电子像:样品中原子序数较高的区域中由于收集到的电子束较多,导致荧光屏上得图较亮。 成像原理 Lei Nie,Jun Fu* et al. Colloids and Surfaces B: Biointerfaces. 125(2015)51. Baosheng Xu,Changqing Hong* et al. Surface & Coatings Technology 270 (2015) 109 SiO2 ZrO2 ZrSiO4 三、影响SEM图像好坏的因素(三要素及焦深) 电镜三要素 分辨率 放大倍数 衬度 焦深 董炎明.高分子分析手册[M].北京:中国石化出版社,2004. 1、分辨率 SEM的分辨率主要受到电子束直径的限制,这里电子束直径指聚焦后扫描在样品上的照射点的尺寸,通俗讲就是扫描面积。扫描面积越小,分辨率越大。 但分辨率不能单纯地靠减小电子束直径无限增大。一方面,因为磁透镜材料的缺陷,总是存在一定的球差、色差等,现在一般电子束直径局限于5nm左右,很难再减小;另一方面,电子束越小,信噪比越小。 董炎明.高分子分析手册[M].北京:中国石化出版社,2004. 2、放大倍数 以屏幕分辨率为0.1mm为例,目前电子束的直径为5nm,可以算出SEM的最大放大倍数为2万左右。 董炎明.高分子分析手册[M].北京:中国石化出版社,2004. 3、衬度 董炎明.高分子分析手册[M].北京:中国石化出版社,2004. 殷敬华,莫志深.现代高分子物理学[M].北京:科学出版社,2001. 扫描电镜的衬度 表面形貌衬度(反差) 原子序数衬度(反差) 电压衬度(反差) 电压衬度:当电子束照射到具有一定电位分布的试样时,由于负电位发射二次电子多,正电位少,因此产生电压衬度。 表面形貌衬度:样品表面的突起小颗粒或夹角对二次电子产额有特别的贡献。 原子序数衬度:背散射电子、吸收电子、X射线,对微区内原子序数的差异相当敏感,而二次电子不敏感。 董炎明.高分子分析手册[M].北京:中国石化出版社,2004. 殷敬华,莫志深.现代高分子物理学[M].北京:科学出版社,2001. 4、焦深 焦深,是焦点深度的简称,即纵向的分辨率。焦深大意味着能使不平整性大得表面上下都能聚焦,是光学显微镜的300-600倍。 董炎明.高分子分析手册[M].北京:中国石化出版社,2004. Qiang Wang,Jun Fu* et al. Soft Matter. 2012,8,6048. 三、X射线能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer) X射线能谱仪是扫描电镜最重要的附件之一。优点是可以分析微小区域(几个微米)的成分,并且可以不用标样、分析速度快。虽然分辨率较低,但足以胜任常规研究工作。 EDS与XPS的区别 EDS XPS 名称 Energy Dispersive Spectrometer X-ray Photoelectron Spectroscopy 翻译 X射线能谱仪 X射线光子能谱分析 检测 特征X射线 光电子 检测深度 100-1000nm 5-10nm 精度 一般 高 主要参考文献 (1)殷敬华,莫志深.现代高分子物理学[M].北京:科学出版社,2001. (2)吴立新,陈芳玉.现代扫描电镜的发展及其在材料科学中的应用[A].武钢技术,2005(06) (3)张新言,李荣玉.扫描电镜的原理及TFT-LCD生产中的应用[B].现代显示,2010(01). (4)Lei N

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