第二十四届全国学术研讨会论文中文格式摘要.DOCVIP

PAGE PAGE 4 自我組裝漣漪結構的缺陷 余俊輝1、莊郁凡1、王豐政1、林清彬2 1淡江大學機械與機電工程學系大學部學生 2淡江大學機械與機電工程學系教授 摘要 　　含有0.01 wt %，1 μm Al2O3顆粒之PDMS薄膜給予不同的伸長率(30%、50%、70%、90%、110%)及固定其應變後，於表面濺鍍一層34±5 nm金鍍層，經應變回復後，薄膜表面會以自我組裝方式形成漣漪結構。漣漪結構形成過程，同時會產生漣漪結構的缺陷：類差排、排向表面裂縫及裂痕。另外， PDMS基材內之氧化鋁顆粒會增加類差排數目；排向表面裂縫隨伸長率增加而增多及增寬。 關鍵字：PDMS；氧化鋁；漣漪結構；類差排；排向 　　　　表面裂縫 1. 前言 表面俱微/奈米結構的材料可以增進產品的功能，例如在疏水性的材料表面製造出微/奈米的結構，可以產生超疏水性的蓮花效應，達到自我清潔的功能【1】。人們嘗試製作微/奈米結構過程中，發現在表面利用自我組裝可以做出類似波紋(或漣漪)結構(Ripple Structure)；Valbusa 等人【2】，以自然界產生的漣漪之現象，如石頭掉入水池中所產生的波紋去解釋Navez等人【3】運用空氣離子束轟擊玻璃表面而產生週期性的漣漪結構。 自Navez等人的研究後，許多研究【4-7】使用不同的製作方法用以製作自我組裝之漣漪結構，例如：雷射照射法【4】；機械拉伸法【5】；薄膜沈積【6】和熱應力【7】等。這些技術所製作出的漣漪結構，尺寸甚至可達到奈米等級。漣漪結構的製作雖不再是個大難題，但要準確控制大面積漣漪的尺寸、圖案及可能造成的影響，卻是相當困難及值得研究的課題。漣漪結構的形成可應用在：繞射光閘、光學感測器、壓力感測器及光罩等。 本研究首先藉由伸長率去控管漣漪結構的尺寸，將聚二甲基矽氧烷(Polydimethylsiloxane；PDMS) 薄膜給予不同伸長率的單軸向拉伸，且在固定應變下進行濺鍍金鍍層，去除拉伸應力後，使PDMS薄膜表面產生不同波長的漣漪結構；另外，在製作漣漪結構的同時，不管是在不同等級(class)的無塵室或材料本身，或多或少均會含有雜質，因此本研究同時探討PDMS中含有Al2O3顆粒雜質時，對形成漣漪結構形成及其缺陷的影響。 2. 實驗步驟 2.1 PDMS溶膠調製 PDMS溶膠預聚物與硬化劑以15：1(wt%)的比例均勻混合，接著加入0.01 wt%平均粒徑約1 μm的氧化鋁顆粒，均勻攪拌約5分鐘後，再放入真空皿中抽真空約1小時，以消除攪拌時所產生之氣泡。 2.2薄膜製作 以旋轉塗佈方式製作PDMS薄膜；將PDMS溶膠塗佈於清潔過的矽晶片上，第一段轉速約100 rpm轉30秒，第二段轉速約300 rpm轉30秒，使PDMS溶膠均勻塗佈在矽晶片上，放入烘箱烘乾2小時，溫度設定90℃，乾燥後得到厚度約200 μm之薄膜。 2.3 拉伸試片製作 將完全硬化之PDMS彈性薄膜製作成拉伸試片，拉伸試片規格見圖1。 圖1 拉伸試片規格 2.4 漣漪結構試片製作 將拉伸試片分別以30％、50％、70％、90％及110%伸長率拉伸後固定應變於夾具上，在置入濺鍍機中，在真空度10 pa~20 pa下，濺鍍約34±5 nm的金鍍層，最後給予應力回復。 2.5 顯微結構觀察 將釋放應力之拉伸試片，使用OLYMPUS B071光學顯微鏡(Optical Microscope；OM)與HITACHI S-2600H掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscopy；SEM)觀察漣漪結構的型態。 3. 結果與討論 3.1 漣漪的形成機制 PDMS給予拉伸及拘束應變，接著表面鍍上一層金鍍層後，給予應變回復，此時PDMS彈性薄膜內優選方位之分子鏈會回復至最低能量之捲曲狀態，由於金的楊氏係數(E=82 Gpa)大於PDMS薄膜的楊氏係數(E=0.604 Mpa)，此時回復應力將引發金鍍層與PDMS彈性薄膜界面間之壓縮應力；以力與力矩平衡的觀點，金鍍層對PDMS彈性薄膜具應力拘束，藉由PDMS彈性薄膜的回復應力均勻的傳遞，使PDMS彈性薄膜及金鍍層能均勻變形，而得到規則排列的波浪形狀，稱為漣漪結構(Ripple Structure)。 3.2 漣漪結構之缺陷 cba c b a 圖2 漣漪結構缺陷：(a) 類差排，(b) 排向表面裂縫及(c)裂痕之 1000X SEM圖 　　漣漪結構在大面積PDMS彈性薄膜表面產生時，同時會形成下列缺陷:類差排(Dislocation-like)、裂痕(Crack) 、排向表面裂縫(Oriented Surface Crack)，見圖2；從圖2中觀察到除規則排列之漣漪結構外，發現漣漪結構有局部排列不規則區域，見圖2(a)