第08讲 之1—Ch7 光栅传感器.ppt

第7章 光栅传感器 圆光栅三种形式 径向光栅：错位工作 切向光栅：方向相对，同心工作 环形光栅：错位工作 7.1.2 莫尔条纹的原理 莫尔条纹是由主光栅和指示光栅 的遮光与透光效应形成的 主光栅与指示光栅成 角叠放 明带和暗带相间的条纹就是莫尔 条纹 当指示光栅相对主光栅做相对 横向移动时，莫尔条纹纵向移动 7.1.3 莫尔条纹的特点 1. 位移放大作用 由图7.3右侧三角形可直接推得： 由下页插图A可推得教材式(7.1)： 莫尔条纹放大量 角度（360） 0.06 0.08 0.1 0.2 0.5 1 　 180 180 180 180 180 180 　 3.1415926 3.1415926 3.1415926 3.1415926 3.1415926 3.1415926 弧度 0.001047198 0.001396263 0.001745329 0.003490658 0.008726646 0.017453292 正切 0.001047198 0.001396264 0.001745331 0.003490673 0.008726868 0.017455065 弧度/正切 0.999999634 00.999998985 0.999995938 0.999974615 0.999898459 莫尔条纹放大量 955 716 573 286 115 57 2. 运动对应的关系 当指示光栅相对主光栅做相对横向移动时，莫尔条纹纵向移动 光栅每移动n个w距离，莫尔条纹移动n个B距离 3. 误差减小作用 微观上讲，光栅的刻度不均匀，即w大小不均匀，而宏观上并不累积，所以莫尔条纹在宏观上相对误差很小。 对于相对误差可有： 7.2 光栅传感器的工作原理 7.2.1 光电转换原理 7.2.2 莫尔条纹测量位移的原理 7.2.3 辨向原理 在相隔B/4条纹间隔的位置上安装两个光电传感器 AB和CD（图7.5中，莫尔条纹被二值化了）。 光栅正向运动时，CD产生的信号只允许AB产生的 正脉冲通过，可逆计数器正向计数。 光栅反向运动时，CD产生的信号只允许AB产生的 负脉冲（取非）通过，可逆计数器反向计数。 7.3 莫尔条纹细分技术 7.3.1 细分方法 7.3.2 光电元件直接细分 如图7.4(c)放置4个光电传感器 如图7.5所示放置2个传感器，采用图7.8(a)电路变为4路电信号 完整的电路见插图B 除增加光栅密度之外，主要的细分方法有电子细分和光学细分。 7.3.3 CCD直接细分 用CCD取代指示光栅及光电传感器。 每个象素对应产生一个窄脉冲 通过限幅比较可获得临界脉冲 记录临界脉冲的位移可知光栅的位移 绝对型传感器（一个栅距之内） 增量型传感器（大于一个栅距） 1. 细分原理 2. 细分精度 7.3.4 光栅传感器的误差 见7.1.3之3 7.4 常用光学系统 7.4.1 透射直读式光路 见7.2.1之图7.4 7.4.2 反射直读式光路 7.4.3 反射积分式光路 图7.4采用 闪烁光栅（相位光栅） P170：思考题与习题：1. 2. 3. 4. 5.