第十二讲、高反射膜.pptVIP

第十二讲、高反射膜 * * 典型膜系 增透膜 分光膜 反射膜 滤光片 特殊膜系 一、纯金属反射膜 二、介质-金属反射膜 三、全介质反射膜 内容 反 射 膜 在光学薄膜中，反射膜和增透膜几乎同样重要。 对于光学仪器中的反射统来说，由于单纯金属膜的特性大都已经满足常用要求，因而我们首先讨论金属反射 膜； 在某些应用中，若要求的反射率高于金属膜所能达到的数值则可在金属膜上加额外的介质膜以提高它们的反射率； 最后介绍全介质多层反射膜，由于这种反射膜具有最大的反射率和最小的吸收率因而在激光应用中得到了广泛的使用。 光线入射到金属上的反射率： 当金属膜厚度达到一定程度的时候，基底的影响可以忽略，在一个比较大的范围内反射率与厚度是基本无关的。 一、金属反射膜 图为1、2、4、8、16、32、64、128nm铝膜反射率的理论曲线 金属膜材料的选择 原则: 先考虑使用波段要求 反射率要求 使用环境 制作成本等 Al、Ag、Au、Pt、Rh 金属膜材料的选择 铝：最常用，在紫外、可见、红外(200nm~30000nm)区域内都有很高的反射率，铝膜镀制成后，逐渐形成一层Al2O3膜，这可作为保护层；在紫外波段，在铝膜上镀制MgF2和LiF2膜，在紫外区域工作时起到保护作用。 银：反射率最高，稳定性差，与玻璃的粘附性不好，且容易受到硫化物的影响而失去光泽，如果再镀制Al2O3膜(30nm)和SiOx膜(100~200nm)则性能得到改善。 金：红外常用、稳定，强度和稳定性比银膜好，但是与玻璃的粘附性也很差，常用Cr膜作衬底或者在镀Au膜时采用离子轰击玻璃表面，这样可以改善Au膜与玻璃的粘附性。 铂、铑：稳定、坚固，反射率比前几种低，且贵重，故只能用于抗腐蚀等特殊要求的情况下。 金属膜的制作工艺 温度、速度、厚度、真空度、蒸发角度 连接层（内、外反射） 保护层（透明波段） 二、金属-介质反射膜 复杂的(反射)系统往往要求有足够的能量 解决办法：将一对或多对高低折射率交替的介质膜镀制在纯金属膜上，这样一方面可起到保护作用，重要的是减少金属膜的吸收，增加膜系的反射率。 称之为增强金属反射膜(镜) 单一金属膜 我们在上面加两层1/4波长厚度的介质膜，折射率分别为n1和n2，假设紧贴金属的膜层折射率为n2，则在中心波长处的反射率可以由薄膜矩阵求得。 当n1n2时 比较两个反射率，有R*R 例如，550nm时，NAl=n-ik=0.82-i5.99 G|Al|Air：R=91.6% n2=nMgF2=1.38；n1=nZnS=2.35； G|Al|MgF2|ZnS|MgF2|ZnS|Air=96.9% Ag膜、Al膜及Al+LHLH膜光谱比较 三、全介质反射膜 金属反射镜的吸收是始终存在的，使它在很多场合不能应用，如有些高能激光膜。 这时候需要全介质高反膜。 我们知道：由H/L高低介质重复叠加可以对某一波段进行高反射。如 (HL)sH/Glass 结构的导纳： 由此可知：(nH/nL)比值越大，或s越大，反射率越大；nH/nL越大，反射越大。 理论上只要增加膜系的层数反射率可无限地接近于100%。 实际上由于膜层中的吸收、散射损失，当膜系达到一定层数时继续加镀两层并不能提高其反率，有时甚至由于吸收、散射损失的增加而使反射率下降因此膜系中的吸收和散射损耗限制了介质膜系的最大层数。 为了得到高的反射率和最低的损耗，最外层膜的折射率是高折射率，其结构为： Glass/(HL)sH 5\7\9\11\13层反射膜光谱 由上图可以看出最高反射率随层数增加，而反射带宽并不增加 对于(HL)s型的反射膜我们试图通过分析它的基本周期来确定反射带宽。 基本周期HL特征矩阵设为： 反射带宽的确定 则膜系的特征矩阵： 可以证明当周期数增大，s趋近无限大时 这时反射率随层数增加而增加，对应的波长在反射区内。 当 时，反射率随层数的增加而起伏，故对应的波长不在透射区内。 HL的矩阵： H、L都是1/4波长波长层，故位相厚度相同，因而未加脚标。 相位厚度： 中心波长处 g=1 令高反波带的边界为Δg，则： 反射带宽与H、L的折射率有关 因此 用相对波数表示带宽： 用波长表示带宽： 很显然，在各层膜厚度为1/4波长的奇数倍处也存在高反射。 则在1/3、1/5、1/7、1/9处的反射带边界为： 波长带宽 *