Q_DHPC 008-20159N超纯气体纯化装置.pdf

Q/DHPC 大连华邦化学有限公司企业标准 Q/DHPC 008 -2015 9N 超纯气体纯化装置 2015-11-25 发布 2015-11-25 实施 大 连 华 邦 化 学 有 限 公 司 发布 Q/DHPC 008-2015 前 言 本标准根据GB/T1.1—2009的结构和编写规则制定的。 本标准由大连华邦化学有限公司提出。 本标准由大连华邦化学有限公司归口。 本标准由大连华邦化学有限公司负责起草。 本标准主要起草人：侯鹏、李文强、韩江江、皮山丹。 1 Q/DHPC 008-2015 超纯气体纯化装置 1 范围 本标准规定了超纯气体纯化装置的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明 书、包装、运输和贮存。 本标准适用于吸附、催化和吸气工序对原料气体进行纯化的超纯气体纯化装置。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适 用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T5832.1 气体湿度的测定 第1部分：电解法 （仪器：AMETEK 5910） GB/T6285 气体中微量氧的测定 电化学法(仪器：SERBOMEX DF-560E) GB/T8981 气体中微量氢的测定 气相色谱法(仪器：HA9560 PDD) GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法(仪器：HA9560 PDD) TSG R0004-2009 固定式压力容器安全技术监察规程 3 分类 3.1 结构形式 超纯气体纯化装置由热交换器、催化反应器、水冷却器、脱氧脱水反应器、管道过滤器、 自动控制系统及其软件、控制阀门以及相应的外壳、管道等构成。 3.2 型号 3.2.1 净化器的型号按照工序、处理量进行选型： HPC — PH____ — ____ — ____ — ____ ① ② ③ ④ PH：纯化器系列； ① ：标示气体种类； 氮气 氢气 氧气 惰性稀有气体 8、9 7 6 5 2 Q/DHPC 008-2015 ② ：表示工序 A：吸附；G：吸气；H：吸附+吸气；O：催化+吸附； 3 ③ ：表示流量，单位为Nm /h； ④ ：表示压力，常规型号为1.0Mpa 可省略，特殊型号书写如 “ bar” 3 例：HPC-PH9-8000 为高纯氮气由催化加吸附工序组成，流量为8000Nm /h，压力为1.0Mpa。 3.2.2 型号所对应脱除的杂质 型号 适用气体 脱除杂质