行业标准《单晶硅炉碳 碳复合材料坩埚》（预审稿）.docVIP

YSICS 29.045 YS H 83 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T ××××-×××× 单晶硅炉碳/碳复合材料坩埚 Carbon-carbon composites crucible used in silicon single crystal furnace (预审稿) ××××-××-××发布 ××××-××-××实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T ××××-×××× 前言 本标准由全国有色金属标准技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：湖南金博复合材料科技有限公司 洛阳单晶硅有限责任公司 上海九晶电子材料股份有限公司 常州天合光能有限公司 本标准主要起草人：廖寄乔、邰卫平、戴瑞麟、吴书哓、王文卫、史 舸、王 丽、 瞿雪林、黄振飞、王跃军、龚玉良。 YS/T ××××-×××× 单晶硅炉碳/碳复合材料坩埚 1 范围 本标准规定了太阳能和半导体等领域的单晶硅拉制炉用碳/碳复合材料坩埚的技术性能、形状、规格、外观质量、检测规则、包装、运输和贮存等内容。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 1804—2000 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB/T 2828.1—2003 计数抽样检验程序 GB/T 5163—2006 烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的测定 YB/T 5146—2000 高纯石墨制品灰分的测定 3 术语和定义 3.1.表观密度 apparent density 制品烘干后的质量与其体积之比。 3.2.灰分 ash content 一定质量的检测样品在一定的温度下灼烧至恒重的残余物占原检测样品量的比重。 3.3 接收质量限 acceptance quality limit 当一个连续系列批被提交验收抽样时，可允许的最差过程平均质量水平。 4 要求 4.1 产品分类 4.1.1碳/碳复合材料坩埚按内径大小分为不同的规格，其常见的规格有G(f)16、G(f)18、G(f)20、G(f)22等四种规格。 4.1.2碳/碳复合材料坩埚按结构分为整体式坩埚和分体式坩埚，分体式坩埚常见的三种型式分别为活动底分体式、上下分体式和三体分体式。分别见附图一和附图二。图中①为坩埚的埚体，②为坩埚的活动底，③为坩埚的埚筒，④为坩埚的埚碗，⑤为坩埚的埚筒托。 4.1.3按用途分为太阳能级坩埚和半导体级坩埚。 4.2产品型号 产品型号及意义如下： G(z或f)××—b(t) 用途代号 坩埚规格代号 坩埚结构代号 坩埚代号 4.2.1坩埚代号以“坩”字汉语拼音首写大写字母表示。 4.2.2坩埚结构代号分别以“整”、“分”字汉语拼音首写小写字母“z?”、“f”表示，整体式坩埚的结构代号可省略。分体式坩埚分别用“fⅠ”“fⅡ”“fⅢ”表示活动底分体式坩埚、上下分体式坩埚和三体分体式坩埚。 4.2.3坩埚规格代号 4.2.4用途代号分别以“太”、“半”字汉语拼音首写小写字母“t?”、“b”表示太阳能级坩埚和半导体级坩埚。 ?4.2.5 一只规格为20英寸，半导体级的活动底分体式坩埚标记如下： GfⅠ20—b—YS?/T ××××---×××× ?4.3外观质量 产品表面光滑圆整，无裂纹，无磕碰伤痕，无夹杂物和结块，无水、油污和灰尘等杂物。 4.4尺寸及其允许偏差 常用规格的坩埚，其各部分尺寸推荐值见表1，尺寸公差的推荐值见表2。 图纸上注明了公差标准的依图纸所示公差执行，图纸上未注明公差的尺寸的公差依照GB∕T 1804—2000标准的粗糙c等级执行。 具体尺寸和公差由供需双方商定。 表1 常用规格的坩埚尺寸推荐表 项目 规格 d/mm t/mm d1/mm d2/mm h1/mm h2/mm h3/mm 16英寸 408 12 220 360 270 290 8