行业标准《单晶硅炉碳碳复合材料坩埚》（送审稿）.docVIP

PAGE 2 PAGE 2 YSICS 29.045 YS H 83 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T ××××-×××× 单晶硅炉碳/碳复合材料坩埚 Carbon-carbon composites crucible used in silicon single crystal furnace (送审稿) ××××-××-××发布 ××××-××-××实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 PAGE I YS/T ××××-×××× 前言 本标准由全国有色金属标准技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：湖南金博复合材料科技有限公司 洛阳单晶硅有限责任公司 上海九晶电子材料股份有限公司 常州天合光能有限公司 本标准主要起草人：廖寄乔、邰卫平、戴瑞麟、吴书哓、王文卫、史 舸、王 丽、 瞿雪林、黄振飞、李 军、 王跃军、龚玉良。 PAGE 2 YS/T ××××-×××× 单晶硅炉碳/碳复合材料坩埚 1 范围 本标准规定了单晶硅拉制炉用碳/碳复合材料坩埚的外形、尺寸及允许偏差、技术要求、试验方法、检测规则、包装、标志、储存、运输和质量说明书。 本标准主要适用于太阳能和半导体领域单晶硅拉制炉用碳/碳复合材料坩埚。也可适用于利用单晶硅拉制炉或其他高温炉提纯多晶硅和冶金行业冶炼金属用碳/碳复合材料坩埚。 2 规范性引用文件 下列标准对于本标准的应用是必不可少的。凡是注日期的引用标准，仅所注日期的版本适用于本标准。凡是不注日期的引用标准，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本标准。 GB/T 1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 GB/T 5163 烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的测定 YB/T 5146 高纯石墨制品灰分的测定 GB/T3074.4 石墨电极测定方法石墨电极热膨胀系数（CTE）测定方法 GB 11108 硬质合金热扩散率的测定方法 3 术语和定义 3.1.表观密度 apparent density 制品烘干后的质量与其体积之比。 3.2.灰分 ash content 一定质量的检测样品在一定的温度下灼烧至恒重的残余物占原检测样品量的比重。 3.3 接收质量限 acceptance quality limit 当一个连续系列批被提交验收抽样时，可允许的最差过程平均质量水平。 4 要求 4.1 产品分类 4.1.1碳/碳复合材料坩埚按内径大小分为不同的规格，其常见的规格有41（16英寸）、46（18英寸）、51（20英寸）、56（22英寸）等四种规格。 4.1.2碳/碳复合材料坩埚按结构分为整体式坩埚和分体式坩埚，分体式坩埚常见的三种型式分别为活动底分体式、上下分体式和三体分体式。分别见附图一和附图二。图中①为坩埚的埚体，②为坩埚的活动底，③为坩埚的埚筒，④为坩埚的埚碗，⑤为坩埚的埚筒托。 YS/T ××××-×××× 4.1.3根据坩埚中灰分含量，坩埚按纯度等级分为1级、2级和3级。 4.2产品型号 产品型号及意义如下： G(z或f)××—×× 坩埚纯度代号 坩埚规格代号 坩埚结构代号 坩埚代号 4.2.1坩埚代号以“坩”字汉语拼音首写大写字母表示。 4.2.2坩埚结构代号分别以“整”、“分”字汉语拼音首写小写字母“z?”、“f”表示，整体式坩埚的结构代号可省略。分体式坩埚分别用“fⅠ”“fⅡ”“fⅢ”表示活动底分体式坩埚、上下分体式坩埚和三体分体式坩埚。 4.2.3坩埚规格代号以其内径值的厘米数（按四舍五入取整）表示。 4.2.4纯度代号采用阿拉伯数字Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ分别表示1级、2级、3级纯度，2级纯度坩埚的纯度代号可省略。坩埚中灰分与纯度等级的对应关系 表1 纯度等级（级） Ⅰ Ⅱ Ⅲ 灰分（ppm） <50 50~200 ＞200~500 ?4.2.5 一只内径为508mm，纯度为1级的活动底分体式坩埚标记如下： GfⅠ51—Ⅰ—YS?/T ××××××