20140124 LBSF 高效晶体硅太阳电池铝浆.pdfVIP

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2019-10-10 发布于广东
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Local-BSF 高效晶体硅太阳电池铝浆儒兴科技开发有限公司 2014.01.24 1 目录 1. Local-BSF 高效晶体硅太阳电池简介 2. 工艺制程对Local-BSF铝浆的要求 3. Local-BSF铝浆的基本参数 4. 儒兴Local-BSF铝浆的应用效果 5. 28D2228D26 系列产品介绍及样品推荐 2 Local-BSF 高效太阳电池简介 finger SiNx:H ARC n+ layer 结构  增加了背面钝化  背面局部接触 Al-LBSF  SiNx膜厚度~150nm ， p-Si  线宽20-40µm ， rear contact  间距1mm ， Al O /SiN or SiO / SiN 2 3 x 2 x  开孔率1-4% 。背抛光、镀膜、开线设备背钝化窗口的制作有激光开线和激光开点，但由于优点激光开点的技术仍待优化，目前激光开线成为主流。保持了背面场效应 1. 抛光设备：RENA, SCHMID; 2. 激光设备：蒂尔；背面钝化降低了载流子复合 3. 镀膜(Al O ) 设备：提高了开压和短流（结合其它电池 2 3 芬兰的ALD设备BENEQ, 技术单晶最高转换效率可达23%） 3 德国的ROTHRAU ，SCHMID 的APCVD Local-BSF 高效太阳电池简介工艺流程 Phosphorus Etching rear Polishing Texturing in diffusion, junction and single surface 80ohm/sq PSG Depositing Screen-printing Depositing Al2O3/SiNx :H Laser ablat