多彩极化数位全像显微镜系统之开发-AOIEA自动光学检测设备联盟.pdf

多彩極化數位全像顯微鏡系統之開發 指導教授 研究生 陳政雄 林子聖 國立中正大學 國立中正大學 機械工程學系 光機電整合工程研究所 imejsc@.tw Sheng_X@ 摘要 本研究提出一創新之光路架構，自行設計光源機構，建立一套同軸式多彩極化數位全像顯微鏡系 統。我們將光路整合於工業用顯微鏡中，搭配三顆可獨立控制的RGB LED 作為照明光源，並使用彩 色CCD 作為影像感測器，以LED 閃頻鎖相(Stroboscopic Illumination Lock-in)的電控技術，來達到 在快門間多彩照明與相位移之功能。 本系統利用LED 光源的低同調特性，以解決傳統DHM 使用雷射照明時因其高同調性而發生多重 反射間雷射光斑(Speckle)的干擾問題，如此可提升全像片的對比度與訊噪比(SNR) 。又因系統光路為 同軸式架構，可讓CCD 有效像素使用率達最大化，使待測物三維輪廓數值重建之空間解析度優於離 軸式 DHM 。經過實際標準試片量測，並與商業化儀器量測結果比較，本系統具一定之準確性，縱向 解析度達奈米等級。 本研究透過 RGB 多彩照明及合成波長相位重建原理，可將待測物體的高度斷差量測範圍由兩百 奈米延伸到數微米以上，以解決當干涉訊號量測高度大於1/2光源波長時，造成的2 π相位混淆(Phase Ambiguity)問題。並且透過控制R 、G 、B 光源各別不同之偏光特性，以減低多波長光譜間的Cross-talk 效應。 最後本研究以Fresnel 近場繞射的方法來進行Phase-Shifting 數位全像之重建。透過相位移法濾 除直流項與共軛虛像，將數位全像片代入Fresnel Transformation 數位重建，可解得波前之振幅與相 位資訊，並成功描繪出待測物之三維輪廓。而與離軸式 DHM 作比較，本文數位重建的過程中不需經 頻域濾波手續，意即減少了二維快速傅立葉轉換之次數，可大幅提升數值重建之速度；除此之外，同 軸式光路架構的空間量測解析度也較優於離軸式DHM 。 關鍵字: 數位全像顯微鏡、合成波長、相位混淆、近場繞射、Phase-Shifting 、Fresnel Transformation 壹 、前言 數位全像顯微鏡(DHM)最大的特點是使用數值三維重建技術來取代機械式掃瞄機構，使用軟體式光路 參數估測來取代機械式的光路校準與對焦，因此隨著電腦運算技術的不斷進步，也使得 DHM 的優勢 愈加明顯。除此之外，一般DHM 不需要高性能光學防震桌，可符合工廠生產線的線上即時量測要求， DHM 除了快速與彈性外，它還具有傳統類比全像術所不具備的功能:例如使用影像處理技術可改善全 像片的訊噪比(Signal to Noise Ratio, SNR) ；使用軟體式光路參數估測技術來自動補償光路的校準誤 差與焦距誤差；使用數位式校正方法來補償物鏡的像差、還可自動放大與對焦在重建物體體積內不同 的任一個角落等等。 本文研究目標為開發一多彩偏極化數位全像顯微鏡，並使此系統能達到以下目的: 一、光學系統依使用需求可切換為同軸數位全像干涉儀或光學顯微鏡架構。 二、透過RGB 多彩照明光源及多波長相位重建原理，來提高物體可被量測之高度斷差範圍，以解決 當干涉訊號量測高度大於1/2 光源波長時，造成的2 π相位混淆(Phase Ambiguity)問題。 三、利用 LED 光源的低同調特性，以解決傳統 DHM 使用雷射作為照明時，因其高同調性而造成多 重反射間的雷射光斑問題，如此可提升全像片的對比度與訊噪比(SNR) 。 1 四、使用LED 閃頻照明鎖相電控技術，預計在一次拍攝下即可得到具不同偏光特性的三張R 、G 、B 全像片，並可控制此三張全像片具不同之相位移