挡板尺寸对电弧离子镀TiAlN涂层微观结构和摩擦学性能-摩擦学学报.pdfVIP

第 ３３卷　第６期 摩 擦 学 学 报 Ｖｏｌ３３　Ｎｏ６ ２０１３年 １１月 Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ Ｎｏｖ，２０１３ 挡板尺寸对电弧离子镀 ＴｉＡｌＮ涂层微观结构 和摩擦学性能的影响  冯长杰 ，胡水莲，江鸢飞，胡　弦 （南昌航空大学 材料学院，江西 南昌　３３００６３） 摘　要：利用电弧离子镀技术，采用Ｔｉ５０Ａｌ５０合金靶，在３０４不锈钢基体上沉积ＴｉＡｌＮ涂层．在Ｔｉ５０Ａｌ５合金靶和基 体挂架中间设置直径分别为８０、１００和１２０ｍｍ圆形挡板，并与无挡板沉积的ＴｉＡｌＮ涂层对比，采用ＳＥＭ／ＥＤＳ、ＸＲＤ 研究挡板尺寸对涂层微观结构、成分的影响，通过显微硬度计、划痕仪和摩擦磨损试验研究挡板尺寸对ＴｉＡｌＮ涂层 力学性能及摩擦学性能的影响．结果表明：随着挡板尺寸增大，ＴｉＡｌＮ涂层中Ｔｉ含量逐渐降低，Ａｌ含量逐渐升高，涂 层表面熔滴数量显著减少，沉积速率降低．增大挡板尺寸后，涂层硬度下降，膜基结合力减小．添加挡板后ＴｉＡｌＮ涂 层表面凹坑缺陷增多，摩擦系数增大，与无挡板的ＴｉＡｌＮ涂层相比，耐磨性显著提高． 关键词：电弧离子镀；ＴｉＡｌＮ；挡板；微观结构；摩擦学性能 中图分类号：ＴＧ１７４，４４４ 文献标志码：Ａ 文章编号：１００４－０５９５（２０１３）０６－０６０６－０８ ＥｆｆｅｃｔｏｆＳｈｉｅｌｄｅｄＰｌａｔｅＳｉｚｅｏｎｔｈｅＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｎｄＴｒｉｂｏｌｏｇｉｃａｌＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆＴｉＡｌＮＣｏａｔｉｎｇＰｒｅｐａｒｅｄｂｙＡｒｃＩｏｎＰｌａｔｉｎｇ  ＦＥＮＧＣｈａｎｇ－ｊｉｅ，ＨＵＳｈｕｉ－ｌｉａｎ，ＪＩＡＮＧＹｕａｎ－ｆｅｉ，ＨＵＸｉａｎ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｃｈａｎｇＨａｎｇｋｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｃｈａｎｇ３３００６３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｉＡｌＮｃｏａｔｉｎｇｓｗｅｒｅｄｅｐｏｓｉｔｅｄｏｎ３０４ｓｔａｉｎｌｅｓｓｓｔｅｅｌｕｓｉｎｇＴｉ５０Ａｌ５０ａｌｌｏｙｔａｒｇｅｔｂｙａｒｃｉｏｎｐｌａｔｉｎｇ．Ｔｈｒｅｅｋｉｎｄｓ ｏｆｒｏｕｎｄｅｄｓｈｉｅｌｄｅｄｐｌａｔｅｓｗｉｔｈｄｉａｍｅｔｅｒｓｏｆ８０ｍｍ，１００ｍｍ，１２０ｍｍｗｅｒｅａｐｐｌｉｅｄｉｎａｒｃｉｏｎｐｌａｔｉｎｇｓｙｓｔｅｍ，ｗｈｉｃｈｗｅｒｅ ｐｌａｃｅｄｉｎｔｈｅｍｅｄｄｌｅｐｏｓｉｔｉｏｎｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｔａｒｇｅｔａｎｄｔｈｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｆｒａｍｅ．Ｔｈｅｃｏａｔｉｎｇｓｗｉｔｈｓｈｉｅｌｄｐｌａｔｅｗｅｒｅｉｎｃｏｍｐａｒｉｓｏｎ ｗｉｔｈｔｈｅｏｎｅｗｉｔｈｏｕｔａｐｌａｔｅ．Ｔｈｅｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎａｎｄｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｃｏａｔｉｎｇｓｗｅｒｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄｂｙｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙａｎｄＸ－ｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ．Ｔｈｅｉｒｍｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄｔｒｉｂｏｌｏｇｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｗｅｒｅ ｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｂｙａｍｉｃｒｏｈａｒｄｎｅｓｓｔｅｓｔｅｒ，ｓｃｒａｔｃｈａｎｄｗｅａｒｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ．ＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔＴｉｃｏｎｔｅｎｔｒｅｄｕｃｅｄｗｈｉｌｅＡｌ ｃｏｎｔｅｎｔｉｎｔｈｅＴｉＡｌＮｃｏａｔｉｎｇｓｉｎｃｒｅａｓｅｄｗｉｔｈｔｈｅｉｎｃｒｅａｓｅｏｆｓｈｉｅｌｄｅｄｐ