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涡旋式真空泵的发展回顾 西安交通大学流体机械及压缩机国家工程研究中心 （陕西 710049） 李泽宇 李连生 【摘 要】对涡旋式真空泵的发展进行了回顾。对 目前国内外市场上较为常见的干式涡旋真空泵产品进行 了比较。据此，根据有利于国内工业化生产等原则研制 了一种结构更为简单，更易于加工和装配的干式涡旋真 空泵实验样机，并对其中的相关技术进行了研究。 【关键词】涡旋 真空泵 回顾 一、前言 涡旋真空泵是利用一对结构相同、相位相差180° 的涡盘在一定偏心距下相互啮合形成的月牙形容积周期 性的变化达到抽真空的目的。它具有可靠性高，振动 小，噪声低，易于维修等优点。根据转动方式的差异， 可分为公转型和自转型两种[1]。 二、涡旋式真空泵 早在20世纪80年代早期，Coffin DO就已经把涡旋 真空泵应用在高真空系统中[2]。涡旋真空泵的研究热 潮始于20世纪80年代末期。1988年，日本东京大学的 Morishita E[3]研制了抽速为200L/min的立式自转型油润 滑涡旋真空泵，其结构如图1所示。与公转型涡旋真 空泵相比，该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优 点。与当时市场上广泛使用的旋片真空泵相比，涡旋 真空泵具有更高的容积效率，极限压力达到1×10-4Torr （1Torr=133.322Pa，下同），下降了80%，泵内的振动 和噪声水平都有所降低。此外结构更紧凑，整机的重量 和体积分别减少了12%和40%。Morishita E的研究表明 了涡旋真空泵的高效性，并对如何消除余隙容积、控制 间隙等提出了有效的方法。 图1 立式油润滑涡旋真空泵1.真空腔 2.大 5.直流电动机 6.排气口7.吸气口 8.驱盘 10.十字滑环随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩 大，人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。干式涡旋 真空泵与油润滑涡旋真空泵的区别在于泵腔内不含任何 的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题，是干 式涡旋真空泵研究的关键。1990年，Kushiro T[4]研制了 抽速为600L/m i n的卧式干式涡旋真空泵，其结构如图2 所示。该泵可以达到的极限压力为5×10-3Torr。它采用 水冷的方式解决泵内各部件的润滑和冷却等问题。冷却 图1 立式油润滑涡旋真空泵 1.真空腔 2.大 5.直流电动机 6.排气口 7.吸气口 8.驱盘 10.十字滑环 2010年 第1期 87 图2 水冷干式涡旋真空泵1.静涡盘 2.动涡盘 3.推力轴承 4.曲轴 5.磁密封6.旋转装置 7.电动机 8.滚动轴承 9.曲柄销图3 图2 水冷干式涡旋真空泵 1.静涡盘 2.动涡盘 3.推力轴承 4.曲轴 5.磁密封 6.旋转装置 7.电动机 8.滚动轴承 9.曲柄销 图3 风冷干式涡旋真空泵 1、3.静涡盘 2.动涡盘 4.风扇盖 5、8.冷却风扇 6.气冲 7.排气阀 9.电动机 10.时间计数器 虽然采用水冷方式可以有效地解决干式涡旋真空 泵的冷却问题，但是冷却水回路却不可避免地造成结构 的复杂性。为此可以考虑采用风冷的方式以简化整机的 结构。1998年，Sawada T[5]研制了采用风冷方式进行冷 却的干式涡旋真空泵，其结构如图3所示。为了提高泵 的抽速、涡盘采用双侧涡圈结构。该涡圈结构的优点在 于：①抽速是普通涡圈的2倍。②动盘的轴向力具有自 平衡的特点。主轴上装有两个冷却风扇，分别位于两个 静盘的端部。主轴转动时带动风扇一起转动，达到对涡 盘的冷却效果。同时它采用了半封闭式结构，解决了 电动机的冷却问题。可见，该泵在结构上比Kushiro T 研制的干式涡旋真空泵更紧凑，且更易于装配。Anest/ Iwata、Busch、Leybold、Varian等公司所生产的干式涡 旋真空泵产品均采用这种结构。以Leybold公司型号为 S C30D的产品为例，它的抽速为3m3/h（50H z），极限 压力可达到1P a。2001年，我国东北大学与中国科学院 沈阳科学仪器研制中心联合研制了该类型的干式涡旋真 空泵，并于2003年初通过了国家真空设备质量检测中心 的鉴定[6]。必须指出的是，双侧涡圈结构要求动盘具有 较高的轴对称性，加工难度较大。 此外，B O C公司也推出了一种采用风冷方式进行 冷却的干式涡旋真空泵，其结构如图4所示。该泵采用 全封闭式结构，涡盘为单侧涡圈结构，冷却风扇安装在 静盘的端部。它最大的特点在于动盘与机架之间通过金 属波纹管进行连接，具有以下两个主要的优点：①波纹 管结构提供了密封作用，将泵内的真空环境与外界环境 进行了隔离，从而最大限度地避免了泵内工质向大气的 泄漏，拓展了涡旋真空泵的用途，可以对某些特殊气体 进行