材料表面与界面06.pdf

第六章表面分析与表征 Chapter 6 Analysis and characterization of surface 6.1 高分辨的表面探针 Excitation Signal source Detector Energy Event Selector Sample 表面分析结构模式示意图  一般地说，它是利用一种探测束－－如电子束、 离子 束、光子束、中性粒子束等，有时还加上电场、磁场、 热等的作用，来探测材料的形貌、化学组成、原子结 构、原子状态、电子状态等方面的信息。 电子 离子 中性粒子 固体材料 光子 热 场 由此可以推知，借助表面分析技术，可以获得哪些数据信息 • 为了分析研究表面的各种性质，通常采用向固体表面引入 微观粒子束 （探针）的方法。这些微观粒子 （光子、电子、 离子等）和表面的分子、原子、电子、离子发生互作用之 后，将从表面反射或散射出携带有表面信息的光子、电子、 离子等。通过各种能谱仪、质谱仪、分光谱仪等检测手段 对所携带的表面信息，如粒子的能量分布和产额等进行有 效地分析，从而确定表面的化学组成、表面原子结构及表 面电子组态等。 用于表面分析的探针，应满足以下要求： • 与表面层物质有较强的相互作用。（由于表面层极薄，如 果表面探针与表面互作用弱，就难以用较大的信噪比把表 面的特有信息携带出来。） • 探针基本不穿透表面。（一旦探针粒子进入体内，必然把 体内信息同时引出。） • 在探针未获得信息前不得破坏表面原子结构。 • 灵敏度、分辨率高。（一般分辨尺寸应小于或远小于原子 间距。原子间距大约在1～3Å左右，故采用微观粒子束， 如电子、短波光子、轻离子等做表面探针材料可以达到要 求。） 表面探针与表面的互作用 图6-1 几种主要表面探针与表面的互作用 常见的表面分析方法 AES （Auger Electron Spectroscopy) LEED (Low Energy Electron Diffraction) RHEED (Reflection High Energy Electron 电子 Diffraction) EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy) HREELS (High Resolution Electron Energy Loss Spectroscopy) FIM (Field Ion Microscopy) FEM (Field Emission Microscopy) PEEM (Photo Emission Electron Microscopy) XRD （X-Ray Diffraction) UPS (Ultraviolet Photoemission Spect