2015远东无损检测激光红外热波成像在膜厚测量中应用.pptVIP

南京诺威尔光电系统有限公司 报告人：江海军 激光扫描红外热波成像在膜厚测量中应用 江海军 ，陈力 南京诺威尔光电系统有限公司 激光扫描红外热波成像在膜厚测量中应用 目录 1 2 4 膜厚测量现状分析 激光扫描红外热波成像技术测厚原理分析 检测平台与实验结果 总结 3 随着涂层及薄膜材料的广泛应用，工业界对膜厚的测量与质量控制提出了更高的要求，比如要求在线、动态、非接触、实时进行测量等等，膜层厚度测试变得尤为重要，常见的膜厚测量分为接触式与非接触式，如表1所示。 表1：薄膜厚度测量技术对比 膜厚测量现状分析 1 红外热波无损检测技术是近代发展起来的一项无损检测手段，相比传统的无损检测手段，如超声波、涡流、X射线等技术，红外热波成像技术具有独特的优势，比如非接触、大面积成像、对热学性质敏感等，因此能够满足现代工业很多对膜层厚度进行检测的要求。 目录 6 1 2 32 4 膜厚测量现状分析 激光扫描红外热波成像技术测厚原理分析 检测平台与实验结果 总结 图2-1：激光扫描红外热波成像技术示意图 图2-2：试件表面温度-时间变化曲线 激光扫描红外热波成像无损检测技术原理 2 2.1 激光扫描无缺陷区域温度场分析 在t=0时刻植入点热源后，样品中的温度梯度场分布为： 其中，Q-电热源瞬时发热量，ρ-密度，c-比热容，α-热扩散系数； 一般常见的激光分布为高斯型，设激光中心功率密度为P0,光斑半径为R，则功率密度分布函数为： 设样品表面对光能的吸收系数ρ0 ，则求得高斯分布激光沿着x轴正向以速度v扫描作用下t时刻样品表面温度梯度场分布: 如果采用高斯分布的线光源，则需要对y方向进行积分： 图2-3：激光扫描二维热传导模型 ◆热波信号的快速衰减，无缺陷区域可看为半无限大空间； ◆缺陷区域可看成有限厚度区域，对于有限厚热传导分析，通常采用“镜像热源法”；◆“镜像热源法”的核心在于把绝热边界看成一面镜子，介质内某处的温度分布看成真实热 源与无限个镜像热源效果的迭加。 综合各个热源的作用，对于厚度为d的试件，在试件表面z=0，得到温度分布方程为： 2.2激光扫描有缺陷区域温度场分析 图2-4：具有两个绝热边界时的镜像热源 ◆上述讨论中，所有参数没有一项与缺陷的属性有相关性，主要在于“镜像热源法”假定缺陷界面为绝热界面，所有热波在缺陷界面内发生全反射，没有考虑界面下缺陷的特性对热波传播的影响。 ◆对于实际情况，热波在两种不同介质组成的材料传递过程中，在两种不同介质的界面处热波将会发生反射和透射现象； 2.2 激光扫描有缺陷区域温度场分析 图2-5：热波在界面处传播示意图 边界条件： 2.2 激光扫描有缺陷区域温度场分析 对于红外无损检测，热源通常采用正入射的激励方式，即 ，利用反射定律与透射定律，在界面处的反射系数和透射系数可以表示为： 由上述分析可得，热波在双层结构组成的样品中传播时，考虑界面的反射与透射，则样品表面温度梯度场为： 图2 温度“波线” 的行波 激光扫描样品表面的温度梯度场分布是红外热波无损检测技术研究的一个重要参数，与运动点热源类似，激光扫描样品表面温度场也存在一个等效时间 t0， t0以后时刻激光扫描作用点在一定范围内的温度与 t0时刻的作用点相对应的范围内温度相等。如图2-6所示，激光扫描速度3cm/s，曲线1对应于7s样品表面温度空间曲线，曲线2对应于9s样品表面温度空间曲线。 2.3 温度场空间曲线分析 图2-6：温度波线“行波” 2.3 温度场空间曲线分析 则温度场T是x的函数为： 从而可以推导出： 上述用“温度波线行波法”定义线型激光扫描样品表面温度梯度场数学模型，可以使长时间激光扫描均品表面的温度梯度场数学表达和计算简化。 从而，激光扫描样品表面温度场在点 的冷却速度数学表达式为： 分别对等式两边进行积分，一个对时间进行积分，一个对空间距离进行积分，得到 上式的物理意义是：激光扫描样品表面温度梯度场在点 处的温度时间曲线为相对应的x轴方向的温度空间曲线与扫描速度的乘积。从而，可以把样品表面的温度时间曲线转化为样品的温度空间曲线。负号的意义在于温度时间曲线与温度空间曲线方向是反向的。 2.3 温度场空间曲线分析 图2-7与图2-8所示为薄膜样品表面温度时间和空间理论曲线，激光扫描v=11cm/s，光斑半径3mm，激光功率200w，薄膜厚度50μm，图3中为空间距离为30cm处，样品表面温度时间曲线，图4为时间为3s处，样品表面温度空间曲线。