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表表表表 面面面面 分分分分 析析析析 技技技技 术术术术 1 表面分析技术术 （Surface Analysis Techniques ） 通过电子、光子、离子、原子、强电场、 热能热能等等外部能量外部能量 （（信号载体探针信号载体探针））与固体材与固体材 料表面的相互作用，收集、测量和分析从固 体表面散射或发射的体表面散射或发射的电子电子、光子光子、离子离子、原原 子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或 衍射图像，得到材料表面形貌、表面结构、 表面成分表面成分、、表面电子态表面电子态及及表面物理化学过程表面物理化学过程 等信息的各种实验技术的总称。 2 物体与真空或气体构成的界面物体与真空或气体构成的界面 表面表面 严格严格 表面分析表面分析 表 1~几个原子层 面面 分 析 一般 表层分析表层分析 几个nm~几个μm 真真空或气体 表面外侧原子部分化学键伸向外部空间表面外侧原子部分化学键伸向外部空间，因而具有因而具有 与体相不同的较活泼的化学性质 3 超高真空技术超高真空技术 高分辨、高灵敏 同步辐射技术同步辐射技术 电子测量技术 真正意义上的表面分析技术真正意义上的表面分析技术 场 电 电 离离 电 离离 发 子 子 子 子 子 射射 衍 能 质 能 和 电 射 谱 谱 量 原 子 谱 损 子 显 失 散 微微 谱 射 镜 谱 4 表层分析技术 （常见） 常规高真空 X射线发散