《气敏传感器》-公开课件（设计）.pptVIP

§10.1 气敏、湿敏传感器及应用 气敏传感器是用来测量气体的类别、浓度和成分的传感器，而半导体气敏传感器是目前实际使用最多的是半导体气敏传感器。 ◆由于气体种类繁多，性质也各不相同，不可能用一种传感器检测所有类别的气体，因此半导体气敏传感器的种类非常多。 ◆目前半导体气敏传感器常用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制。 一、半导体气敏传感器 气体敏感元件，大多是以金属氧化物半导体为基础材料。当被测气体在该半导体表面吸附后，引起其电学特性(例如电导率)发生变化。 金属氧化物半导体分N型半导体，如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等，P型半导体，如氧化钴、 氧化铅、氧化铜、氧化镍等。为了提高某种气敏元件对某些气体成分的选择性和灵敏度，合成材料有时还渗入了催化剂，如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等。 2、检测原理 在N 型气敏元件中, 其晶格的阴离子缺位, 当遇到离解能较小的易于失去电子的可燃性气体的分子时, 电子从气体分子向半导体转移, 使半导体中载流子的浓度增加, 电阻减小; 若吸咐氧化性气体时，气敏元件的电阻将增加。 在P 型气敏元件中, 其晶格的阳离子缺位, 呈空穴导电性, 当遇到可燃性气体时, 半导体中的载流子浓度下降, 电阻增大。而氧化性气体时，其阻值减小。 气敏元件工作时必须加热，其目的是： 加速被测气