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ICS23.160
J78
固雪
中华人民共和国国家标准
11164—2011
GB/T
11164
代替GB/T 1999
真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum
coatingplantgenericspecification
2011-11-21发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局学者
中国国家标准化管理委员会及113
/
11164—2011
GB/T
目 次
前言……………………-
1范围…………………
2规范性引用文件…… .i
3术语和定义…………
4技术要求…………… 2
5试验方法……………
6检验规则…………… 4<u
7标志、包装、运输、贮存 5
/
11164—2011
GB/T
刖 吾
本标准按照GB/T
1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替GB/T11164--1999《真空镀膜设备通用技术条件》,与GB/T11164—1999相比主要变
化如下:
——为使用方便增加了目次;
11164
——修改了GB/T 1999中真空镀膜设备的压力范围,由10_4Pa~lO。Pa修改为10“Pa~
103 Pa;
——修改了GB/T11164--1999表1中镀膜室尺寸分档,增加了300、400、450、1100、1350、2200、
2400、2500、2600、3
200十档尺寸,并对带“*”号尺寸优先选用进行了调整;
——修改了GB/T
档镀膜设备的极限压力、抽气时间及升压率指标;
——因GB/T
11164—1999中部分规范性引用文件已修订,故本标准引用现行标准;
11164
——修改了GB/T 1999的4.4.6,用表格的方式规定了设备配套的电器装置中各电气回路
的绝缘电阻值;
11164
——修改了GB/T 1999的4.5.4及4.5.12,增加了安全防护内容。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。
本标准负责起草单位:北京北仪创新真空技术有限责任公司。
本标准参加起草单位:上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成
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