行业标准《磁性溅射靶材透磁率测试方法》意见汇总处理表.docxVIP

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2020-01-19 发布于福建
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行业标准《磁性溅射靶材透磁率测试方法》意见汇总处理表.docx

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标准征求意见稿意见汇总处理表标准项目名称：磁性溅射靶材透磁率测试方法承办人：罗俊锋共 1页第 1 页标准项目负责起草单位：有研亿金新材料有限公司电话2015年 11月 05日填写序号标准章条编号意见内容提出单位处理意见备注 1 3.2 增加装置示意图，以便可以更为清楚的了解标准中所涉及到的装置信息。贵研铂业采纳 2 2 删除“规范性引用文件”部分采纳 3 4 删除“一般要求”部分采纳 4 6.3.2 删除“在靶材表面或边缘任意处标记出起始位置（0面位置）” 白银有色金属公司采纳 5 6.4 删除“后续处理”部分贵研铂业采纳 6 7 “数据处理”部分中7.1-7.4中加入计算公式采纳 7 8 删除“检验报告”部分采纳 8 4.3.4 将“移动霍尔探头到靶材上方”改为“移动霍尔探头到靶材中心上方” 杭州立昂采纳 9 4.3.6 删除“固定载物台位置” 北方微电子采纳 10 4.3.8 增加“对于需要退磁的靶材用交流退磁机对靶材进行退磁。” 吉林华微采纳说明（1）发送《征求意见稿》的单位数：5个；分别为：杭州立昂微电子股份有限公司、北京交通大学、杭州士兰微电子股份有限公司、吉林华微电子股份有限公司、北方微电子公司（2）收到《征求意见稿》后，回函的单位数：2个；（3）收到《征求意见稿》后，回函并有建议或意见的单位数：3个；（4）没有回函的单位数：0个。