生物组织应力分析之挠性阵列应变感测器设计与制造.pdfVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 生物組織應力分析之撓性陣列應變感測器設計與製造(第 2 年) 研究成果報告(完整版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-151-004-MY2 執 行 期 間 ：100年08月01日至101年07月31日 執 行 單 位 ：國立高雄應用科技大學機械工程系 計 畫 主 持 人 ： 黃世疇 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：謝昀修 碩士班研究生-兼任助理人員：鄭偉順 碩士班研究生-兼任助理人員：陳昱叡 博士班研究生-兼任助理人員：武忠堅 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文 公 開 資 訊 ： 本計畫可公開查詢 中 華 民 國 101 年 08月 22 日 中 文 摘 要 ： 本研究利用奈米碳管之壓阻特性來製作可用於生物體的可撓 式生醫應變感測器，該感測器量測雞脛骨表面時能夠即時提 供骨頭之應變數據。核心感測材料為藉由微機電製程技術， 使用酒精催化化學氣相沈積法製作之奈米碳網，並以聚對二 甲基苯(Parylene-C)作為感測器的基板與封裝層。 在感測器測試方面，以不同的奈米碳網成長時間，利用拉伸 實驗來探討生醫應變感測器所表現的阻規係數差異，並對其 阻規係數作整理與探討。實驗結果顯示，當奈米碳網成長時 間為10分鐘與20分鐘，其阻規係數最大值分別為5.06與 4.22，是一般商用應變感測器的2.3倍左右。 最後利用三點式彎曲試驗作為雞脛骨之機械性測試，由結果 證實，奈米碳網生醫應變感測器確可監測雞脛骨頭之應變變 化。 中文關鍵詞： 骨頭、奈米碳網、聚對二甲基苯、阻規係數、應變感測器 英 文 摘 要 ： In this project, the piezoresistive characteristics of carbon nanonets were used to design a flexible biomedical strain sensor. When the sensor was used in measuring the surface of chicken tibiae, the strain data could be obtained immediately. By using Micro- electromechanical Systems (MEMS) technique combined with Alcohol Catalytic Chemical Vapor Deposition (ACCVD), the carbon nanonets materials with piezoresistive characteristics were successfully fabricated. The Parylene-C was chosen a