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真空设备应用教材.ppt 36页

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真空設備應用 ;內容;真空歷史背景;取得真空環境後可產生大氣中沒有的新現象;真空鍍膜技術應用;真空鍍膜設備應用;如何抽真空;真空系統元件介紹;粗抽PUMP;高真空PUMP;真空計;真空閥門;電源供應器:DC/ RF/ MF;真空設備介紹;批次式(batch type)濺鍍系統;批次式(batch type)濺鍍系統;連續式(立式In-line)濺鍍系統;連續式(臥式In-line)濺鍍系統;Cluster;Cluster;Cluster;CVD Furnace;電漿;真空鍍膜產品;Thin Film in LCD;;太陽能電池;LED;LED 製作流程;其它鍍膜應用;其它鍍膜應用;真空鍍膜未來;各式手機、平板電腦所用觸控面板技術;34; 從上述中我們可以了解,真空鍍膜技術及設備在當今和未來都擁有十 分廣闊的應用領域和發展前景。 在目前大規模半導體之電學膜: 在數字式縱向與橫向均可磁化的數據記錄儲存膜: 在能充分展示和應用各種光學特性的光學膜: 在TFT、LCD平面顯示器上的導電膜及増透膜: 在建築、汽車行業上應用的玻璃膜及裝飾膜: 在包裝領域用防護膜、阻隔膜: 在工具、模具上應用的耐磨超硬膜: 在奈米材料研究方面的各種功能性薄膜: 以上都是真空鍍膜技術及設備在廣泛應用的基礎上得到不斷發展的領域,相信它是永不停止的。;

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