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一种新型的磁敏传感器 郑金菊　余水宝　孙笑琴 (浙江师范大学信息科学与工程学院　金华　321004 摘要　利用铁基纳米微晶材料的磁敏特性和L C 反馈式振荡器的特性, 设计制作了一种新型的磁敏传感器, 并对其性能进行了测试, 实验结果表明, 该传感器具有良好的性能, 可用作弱磁场探测、磁敏开关等。关键词　铁基纳米晶　巨磁阻抗效应　磁敏传感器　振荡器 A New M agnetic Sen sor Zheng J in ju 　Yu Shu ibao 　Sun X iaoqin Colleg or m S cience and E ng ineering , Z hej iang N or m al U niversity , J inhua 321004, Ch ina Abstract 　A k ind of new m agnetic senso r w as studied based on giant m agneto 2i m pedance effect of Fe 2based nanocrystalline , the experi m ent turned out the senso r has been h igh sensitivity and can be utilized to the m agnet 2ic field detecting , m agnetic s w itch , etc . Key words 　Fe 2based nanocrystalline 　Giant m agneto 2i m pedance effect 　M agnetic Senso r 　O scillato r 1　引　　言 铁基纳米微晶是一种新型的纳米磁敏材料, 有巨磁阻(G M R 或巨磁阻抗效应(G M I [1] , 用它组成的器 件具有灵敏度高、体积小、响应快以及非接触等特点, 与传统的霍尔和磁电阻传感器相比具有灵敏度高、温度稳定性好、工作温度范围宽、使用寿命长等优点, 从而可以在很多领域内替代原有的传感器, 使产品的自动化控制系统提高到一个新的水平。因此利用铁基纳米微晶材料的磁敏特性研制磁敏传感器无疑是具有重要的现实意义和广泛的应用前景, 目前已有一些相关的文献报道 [2～3] 。而这里研究的磁敏传感器, 具有电路 简单、输出信号大、灵敏度高等特点。 2　磁敏传感器的设计及工作原理 211　铁基纳米晶带的制备 原始非晶态Fe 73. 5Cu 1N b 3Si 13. 5B 9条带是用单辊快淬法制得[4] , 112mm 宽, 25Λm 厚。将长度为4cm 条带在氮气保护下, 温度在540℃, 退火40m in 即可制成Fe 基纳米晶; 样品用Y 4Q 型X 射线衍仪检测纳米微晶; 再用4294A 阻抗仪测量其巨磁阻抗效应。 212　磁敏传感器电路的设计 磁敏传感电路由磁敏振荡器和RC 低通滤波器构成, 具体的电路原理图如图1所示。 图1所示电路中工作电压V cc 为15V , R 1、R 2、C 1、 C 2、C 3、L 及三极管构成Co lp itts 振荡器, 各元件参数分 别如下:R 1=33k 8, R 2=217k 8, R 3=5108, C 1= 5100pF , C 2=C 3=51pF , 三极管为放大系数Β介于100 ～300间的N PN 型硅管, 而电感L 是自制电感线圈, 其内置铁基纳米微晶条带, 线圈是由直径为011mm 的漆包线绕制而成的, 它的直径、长度和匝数分别为 2167mm 、1011mm 和100匝。如图2所示 。 图1　磁敏传感电路 铁基纳米材料具有磁敏特性, 因此当它所处环境的磁通量发生变化时, 就会有巨磁阻抗效应产生, 从而 第26卷第8期增刊 仪　器　仪　表　学　报 2005年8月 使振荡器输出量(直流分量、交流信号幅度、交流信号频率 随外加磁场而变化, 成为磁敏振荡器。H ex 是沿铁 基纳米晶磁体条带方向并穿过该条带的磁场强度。 图2　电感线圈和铁基纳米晶条带的位置 图1中R 4、C 4构成低通滤波器, R 4=100k 8, C 4= 510pF , R 2C 低通是最简单的一种低通滤波器, 由电阻 和电容元件构成, 其作用是提取直流分量, 滤去交流分量。 213　工作原理 当该振荡器线圈中没有加入铁基纳米晶磁体条带时, 振荡器满足振荡条件, 能产生振荡信号且它的输出电压是很大的, R 2C 伏。, 大, , 甚至, 铁基纳米晶磁体条带在磁场作用下开始显示其巨磁阻抗效应, 涡流损耗减小, 电感的Q 值升高。随外加磁场的逐渐增强, 磁敏振荡器的输出电压随之逐渐增大。但当外加磁场增强到一定程度后, 磁体条带达到磁饱和, 磁敏振荡