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- 2019-11-30 发布于四川
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- | 2015-04-30 颁布
- | 2015-10-01 实施
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ICS29.045
H 80
中华人民共和国有色金属行业标准
/ —
YST28 2015
代替 / —
YST28 1992
硅 片 包 装
Packaeofsiliconwafers
g
ㅤㅤㅤㅤ
2015-04-30发布 2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
/ —
YST28 2015
硅 片 包 装
1 范围
本标准规定了硅片的包装。
、 、 、 ( )
本标准适用于硅单晶抛光片 外延片 SOI等硅片的洁净包装 硅单晶研磨片 简称硅研磨片 包装
, 、 。
和太阳能电池用硅片包装 使其在运输 贮存过程中避免再次沾污和破碎
2 规范性引用文件
。 ,
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文
。 , ( ) 。
件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件
/ 硅单晶抛光片
GBT12964
/ 硅单晶切割片和研磨片
GBT12965
/ 硅外延片
GBT14139
/ 半导体材料术语
GBT14264
/ 太阳能电池用硅单晶切割片
GBT26071
/ 太阳电池用多晶硅片
GBT29055
/ 硅单晶抛光片
GBT29506 300mm
ㅤㅤㅤㅤ
GB50073 洁净厂房设计规范
3 术语和定义
/ 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
GBT14264
3.1
洁净包装 clean ackae
p g
用专用的运输片盒对抛光片、 、 , 、 、
外延片 SOI等晶片进行包装 使其在运输 贮存过程中避免颗粒 金
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