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4.厂区自救方案设计 (1)紧急应变预案规划 (2)选择参与紧急应变计划成员 (3)相关资料收集整理 (4)制定预案与演习 选择参与紧急应变预案成员 依单位权责分配工作 应变能力的评估 相关资料收集与整理探讨 危险评估 工厂应变能力评估 区域应变能力调查 预案的制定 预案的核对修订与推行 预案的修订 紧急应变预案制定过程示意图 六、本文结论 本文通过分析洁净厂房的建筑特点以及火灾特点,结合目前国内使用的固定灭火设施本身的使用性分析,得出以下结论: (1)按照规范来说,洁净厂房的火灾探测器可以使用的有:火焰探测器、感烟探测器、极早期火灾探测器,但是,由于洁净厂房火灾的特殊性,极早期火灾探测器是洁净厂房的最佳选择。同时在实际工程设计时应当注意,火灾探测器的探测能力受到洁净室强制换气、洁净室强制通风、天花板高度的影响 (2)洁净厂房内自动灭火系统应该同时设置水系统和化学系统,并且应当以化学系统为主要灭火手段,水系统作为最后的防护措施。在洁净室下吹层流的冷却特性之下,洁净室中的自动喷水装置要求应当为QR(Quick Response)等级,其RTI(反应时间指标)必须在50以下。 (3)细水雾系统相对于普通水喷淋系统更加适用于洁净厂房,且造成的火灾损失较低。在实际需要使用水系统时,应当首先选择细水雾系统,对于部分厂房或者局部洁净室,细水雾系统可以完全替代其他水系统。 (4)洁净厂房的火灾探测、自动灭火都是预防火灾的重要措施,但是防排烟设施和厂区自救也同样不容忽视。应当结合洁净厂房内封闭、曲折的特点,在洁净室内阀门、管道开口及众多部件的穿孔位置设置防排烟设施。 (5)洁净厂房火灾不能单纯的依赖于固定灭火设施以及消防部门,厂区自救是扑灭早期火灾、有效降低火灾损失的重要举措。本文对如何建立完善的紧急应变预案做了详细描述,这种预案的制定与实施过程,不仅使用于洁净厂房,对于大型工厂、人员聚众场所同样适用。 不足之处及下一步工作 本论文在资料收集方面还不够全面,分析面不够宽,且提出的建议针对性不够强。文章没有针对具体厂房具体分析,因此所提出的措施比较宽泛,在涉及具体厂房时仅供参考。 在以后得工作及学习过程中,还应该多留意关于洁净厂房的信息,在工作中遇到涉及此类厂房时,应当留心观察,多加学习,努力完善自己在此方面的知识。 致 谢 本论文是在导师靳红雨副教授的悉心指导下完成的,值此毕业之际向我的导师致以最真挚的感谢! 感谢系领导和队干部的帮助! 衷心感谢所有帮助我的老师、同学和朋友们! 最后,感谢在百忙中评审论文和参加答辩的专家和评委们! 二〇一〇年五月 二〇一〇年五月 二〇一〇年五月 二〇一〇年五月 二〇一〇年五月 二〇一〇年五月 二〇一〇年五月 二〇一〇年五月 二〇一〇年五月 电子洁净厂房的火灾防护措施 指导老师:副教授 答辩人: 一、引言 随着我国国民经济的发展、社会的进步和人民生活水平的提高,洁净厂房已广泛应用于电子、生物制药、精密仪器制造等各行各业中,由于洁净厂房在温度、相对湿度及洁净度方面的巨大优势、它的重要性也越来越多的被人们所认识和接受。 二、洁净厂房简介 当今,部分产业如生物制品工业、医药工业、精密的微电子工业、部分精密的机械加工业等为达到产品的技术要求对于生产环境提出了特殊的要求,它们共同的特点就是生产应在对空气中尘粒、温度、湿度、压力和噪声进行控制的厂房内完成,这种厂房就是洁净厂房 。 1.洁净厂房的类型 在半导体工业中,洁净室的技术已经发展了很多年,针对不同生产及洁净等级需求的洁净室,其形态大致上可分为以下六种: (1) 紊流式(turbulent air flow type) (2) 水平层流式(horizontal laminar air flow type) (3) 垂直层流式(vertical laminar air flow type) (4)湿流式(mixing air flow type) (5)隧道式(tunnel type) (6)包裹式(enclosure type) 2.洁净厂房内的设备 在半导体工厂中通常包含了三个主要的区域: (1)S.A.P(Suppl y Air Plenum) S.A.P为主要的供风层,位于半导体厂房的顶层,负责供应洁净室空调所需的空气。 (2)C/R(Clean Room)或称FAB 在S.A.P下的FAB主要的半导体生产区,也就是一般所定义的洁净室。 (3)SubFAB或称R.A.P(Return Air Plenum) SubFAB位于洁净室下层,为洁净空气流入后吹入回风区,下吹的回风经由建筑周围的回风竖井回到
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