传感器原理与传感器技术第5章　压电式传感器.ppt

5.2.2　压电式传感器特性 图5-11　石英晶体的切应力示意图 5.3　压电式传感器的转换电路 5.3.1　电压放大器5.3.2　电荷放大器 5.3.1　电压放大器 图5-12　压电传感器与电压放大器连接的等效电路a)等效电路　b)简化等效电路 5.3.2　电荷放大器 图5-13　装入压电式传感器内部的超小型阻抗变换器电路 5.3.2　电荷放大器 图5-14　压电式传感器与电荷放大器连接的等效电路 5.4　压电式传感器的应用 5.4.1　压电式力传感器5.4.2　振动的监控、检测5.4.3　压电引信5.4.4　压电式玻璃破碎报警器5.4.5　压电式料位测量系统 5.4.1　压电式力传感器 1.单向力传感器2.双向力传感器3.三向力传感器 第5章　压电式传感器 5.1　压电式传感器的工作原理及等效电路5.2　压电式传感器的结构及特性5.3　压电式传感器的转换电路5.4　压电式传感器的应用 5.1　压电式传感器的工作原理及等效电路 5.1.1　压电式传感器的工作原理5.1.2　压电式传感器的等效电路 5.1.1　压电式传感器的工作原理 1.石英晶体2.压电陶瓷 5.1.1　压电式传感器的工作原理 图5-1　石英晶体a)天然晶体　b)晶体切片 1.石英晶体 5-2.tif 1.石英晶体 图5-2　石英晶体的压电效应机理示意图a)为受外力情况　b)受沿X轴方向的压力情况　c)受沿Y轴方向的压力情况 2.压电陶瓷 图5-3　晶体切片上电荷极性与受力方向的关系a)X轴方向受压力　b)X轴方向受拉力　c)Y轴方向受压力　d)Y轴方向受拉力 图5-4　钛酸钡压电陶瓷的电畴结构示意图a)未极化情况　b)极化情况 5.1.2　压电式传感器的等效电路 图5-5　压电传感器的等效电路a)电压源　b)电荷源 5.1.2　压电式传感器的等效电路 图5-6　压电传感器的实际等效电路a)电压源　b)电荷源 5.2　压电式传感器的结构及特性 5.2.1　压电式传感器的结构5.2.2　压电式传感器特性 5.2.1　压电式传感器的结构 1.压电材料2.结构 1.压电材料 (1)压电晶体　(2)压电陶瓷(3)新型压电材料 (1)压电晶体　 图5-7　石英晶体的切族a)X切族原始位置　b)Y切族原始位置 (2)压电陶瓷　 压电陶瓷的特点是：压电常数大，灵敏度高；制造工艺成熟，可通过合理配方和掺杂等人工控制方法来达到所要求的性能；成形工艺性好，成本低廉，利于广泛应用。 (3)新型压电材料 ①压电半导体材料　压电半导体材料有硫化锌(ZnS)、碲化镉(CdTe)、氧化锌(ZnO)、硫化镉(CdS)、碲化锌(ZnTe)和砷化镓(GaAs)等。这些材料的显著特点是：既有压电特性，又有半导体特性。因此，既可用其压电特性研制压电式传感器，又可用其半导体特性制作电子器件；也可以两者结合，集敏感元件与电子线路于一体，研制新型集成压电式传感器测试系统。 (3)新型压电材料 ②有机高分子压电材料　某些合成高分子聚合物(如聚氟乙烯(PVF)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚氯乙烯(PVC)等)，经延展拉伸和电极化后可形成具有压电性高分子的压电材料。聚偏二氟乙烯(PVDF)是有机高分子半晶态聚合物，结晶度约50%。PVDF原料可制成薄膜、厚膜、管状和粉状等各种形状。当聚合物由150℃熔融状态冷却时主要生存α晶型。α晶型没有压电效应。若将α晶型定向拉抻，则得到β晶型。β晶型的碳-氟偶极矩在垂直分子链取向，形成自发极化强度。再经一定的极化处理后，晶胞内部的偶极矩进一步旋转定向，形成垂直于薄膜平面的碳-氟偶极矩固定结构。当薄膜受外力作用时，剩余极化强度改变，薄膜呈现出压电效应。 表5-1　常用压电材料的性能 压电材料性能 石英 钛酸钡 PZT—4 PZT—5 PZT—8 压电常数（pC/N） =2．31=0．73 =260=-78=190 ≈410=-100=200 ≈670=-185=415 ≈410=-90=200 相对介电常数（） 4．5 1200 1050 2100 1000 居里点温度（℃） 573 115 310 260 300 密度（1kg/） 2．65 5．5 7．45 7．5 7．45 弹性模量（1N/） 80 110 83．3 117 123 机械品质因素 1～1 ≥500 80 ≥800 最大安全应力（1N/） 95～100 81 76 76 83 表5-1　常用压电材料的性能 体积电阻率（Ω/） 1 1 1 1 最高允许温度（℃） 550 80 250 250 最高允许湿度（％RH） 100 100 100 100 2.结构 图5-8　“双压电晶片”的结构原理图 2.结构 图5-9　压电片的连接方式a)