化学机械抛光中的抛光皮知识讲解.pptxVIP

抛光皮知识简介;目录;1-1 化学机械抛光;1-2 化学机械抛光基本结构;1-3 化学机械抛光去毛刺机理;2.抛光皮的分类-1;2.抛光皮的分类-2;2.抛光皮的分类-3;3.抛光皮的作用;3.抛光皮的作用（图解）;? 抛光皮开槽的作用 抛光皮开槽能提高抛光皮自身的追从性，抛光皮沟槽形状对抛光液的运送及均匀分布、化学反应速度、反应产物及其浓度，材料去除速率会产生重要影响，是改变抛光垫性能的最主要途径。;4.抛光皮的制造工艺;4.抛光皮的制造工艺;4.抛光皮的制造工艺;抛光皮性能分析;5.影响抛光皮性能的因素--内部因素;5.影响抛光皮性能的因素--外部因素;6.化学机械抛光的发展趋势;化学机械抛光的发展趋势;Thank you