Q_CSSG 170-2018匀胶铬版企业标准.pdf

Q/CSSG 长 沙 韶 光 铬 版 有 限 公 司 企 业 标 准 Q/CSSG 170—2018 匀胶铬版 2018-3-25发布 2018-4-05 实施 长沙韶光铬版有限公司 发 布 Q/CSSG 169—2018 前 言 本标准的技术要求是参照SEMIP1-1101 《硬面光掩模版基板规格》和SEMI P2-0298 《用于硬面光掩模版铬薄膜的说明书》制定的，标准的格式和编写要求 符合GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写》、GB/T 20001.10-2014 《标准编写规则 第10部分：产品标准》、GB/T 20001.5—2017 《标准编写规则 第5部分：规范标准》和相关强制性国家标准的要求。 本标准由长沙韶光铬版有限公司提出。 本标准由长沙韶光铬版有限公司技术中心负责起草。 本标准主要起草人：李弋舟，陈曦。 本标准于2018 年3 月25 日修订，4月05 日正式发布。 匀胶铬版 IIII Q/CSSG 169—2018 1 范围 本标准规定了匀胶铬版的定义、型号命名、技术要求、试验方法、检验规则 和标志、包装、运输、贮存等内容。 本标准适用于光掩模版，半导体器件(分立器件和集成电路)及平板显示器件 用匀胶铬版的生产和检验。 2 规范性引用文件 标准所包含的条文，通过在本标准中的引用而成为本标准的条文。凡是注日 期的引用文件，其随后所有的修改单 （不包括勘误的内容）或修订版均不适用于 本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新 版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T191 2008 — 包装储运图示标志 GB/7238-87 玻璃及铬版表面平整度的测试方法 GB/7239-87 铬版铬膜和胶膜厚度的测量方法 GB/7240-87 铬版铬膜表面反射率的测量方法 GB/7241-87 铬版光密度的测量方法 GB/7237-87 铬版 SJ/T10584-94 微电子学光掩蔽技术术语 GB/T15870—1995 硬面光掩模用铬薄膜 GB/T15871—1995 硬面光掩模基板 GB/T191—2008 包装储运图示标志 GB/11614—1999 平板玻璃 53 1990 国家技术监督局 号 （ ） 《中华人民共和国标准化法实施条例》 3 术语及定义 SJ/T10584 确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 3.1 均匀性 同一块版内最大值与最小值之差除以最大值与最小值之和乘以百分之百，即 IIIIII Q/CSSG 169—2018 3.2 一致性 同一批中不同块版的最大平均值和最小平均值之差除以基准值乘以百分之 百，即 3.3 针孔 为不透明膜上的任何透光点。大小以最大尺寸为准。针孔群就是相互距离在 1mm 之内的两个或多个针孔。 3.3 平面度