激光干涉测量技术.pptxVIP

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;激光干涉测量长度和位移;迈克尔逊干涉仪测长示意图; 测得干涉条纹的变化次数K之后,即可由上式求得被测长度L。在实际测量中,采用干涉条纹计数法,测量开始时使计数器置零,测量结束时计数器的示值即为与被测长度L相对应的条纹数K。可把上式改写为; 激光干涉测量仪的主要部分有:激光干涉仪系统、干涉条纹计数和处理测量结果的电子系统及机械系统。 (一)干涉仪系统 干涉仪系统主要包括光源、分束器和反射器。 1.激光干涉仪常用光源 因为He-Ne激光器输出激光的频率和功率稳定性高,它以连续激励的方式运转,在可见光和红外光区域里可产生多种波长的激光谱线,所以,He-Ne激光器特别适合作相干光源; 2.干涉仪将一束光分为两束或几束的方法 (1)分波阵面法 激光器发出的光经准直扩束后,得到一平而光波的波阵面。利用有微小夹角的两反射镜Ml和M2(菲涅尔双面镜)的反射,将光波的波阵面分为两部分,然后使二者在屏幕P相遇,在屏上出现明暗相间的干涉条纹,如下图(a)所示。 (2)分振幅法 把一束光分成两束以上的光束,它们全具有原来波的波前,但振幅减小了。如迈克尔逊干涉仪。常用的分光器有:平行平板分光器和立方体分光器.如下图(b)所示;(a)分波阵面法;(b)分振幅法;(c)分偏振法; (3)分偏振法 在偏振干涉仪系统中需要采用偏振分光器,它由一对玻璃棱镜相胶合而成,在其中一块棱镜的胶合面上交替蒸镀氟化镁和硫化锌膜层。入射光以布儒斯特角进入介质层,经多次透射和反射得到高偏振度的S分量反射光和P分量透射光。偏振分光器也可由晶轴正交的偏光棱镜组成,如渥拉斯顿棱镜,如上图(c)所示。 3.干涉仪中常用的反射器 (1)平面反射器 偏转将产生附加的光程差,在采用多次反射以提高测量精度的系统或长光程干涉仪中,此项误差不可忽略; (2)角锥棱镜反射器 如下图(a)所示,它具有抗偏摆和俯仰的性能,可以消除偏转带来的误差,是干涉仪中常用的器件。 (3)直角棱镜反射器 如下图(b)所示,它的三个角分别为45?、45? 、90? ,光入射在斜面上。它只有两个反射面,加工起来比较容易,并只对一个方向的偏转敏感。对于垂直人射面的平面偏振光不受干扰。; (4)“猫眼”反射器 如下图(c)所示,它由一个透镜L和一个凹面反射镜M组成、反射镜放在透镜的主焦点上,从左边来的入射光束聚焦在反射镜上,反射镜又把光束反射到透镜,并沿与入射光平行的方向射出(与反射镜的曲率无关)。若反别镜的曲率中心C’和透镜的中心C重合,那么当透镜和反射镜一起绕C点旋转时,光程保持不变:“猫眼“反射器的优点是容易加工和不影响偏振光的传输。在光程不长的情况下也可考虑用平面反射镜代替凹面反射镜,这样更容易加工和调整。;4.典型的光路布局 在激光干涉仪光路设计中,一般应遵循“共路原则”,即测量光束与参考光束尽量走同一路径,以避免大气等环境条件变化对两条光路影响不一致而引起测量误差。同时,根据不同应用需要,要考虑测量精度、条纹对比度、稳定性及实用性等因素。下面介绍几种从不同角度考虑的典型光路布局。 (1)使用角锥棱镜反射器 这是一种常用的光路布局,如下图(a)所示,图中角锥棱镜可使入射光和反射光在空间分离一定距离,所以,这种光路可避免反射光束返回激光器。激光器是一个光学谐振腔.若有光束返回激光器将引起激光输出频率和振幅的不稳定。角锥棱镜还具有抗偏摆和俯仰的件能,可以消除测量镜偏转带来的误差。图(a)所示光路的缺点是这种成对使用的角锥棱镜要求配对加工,而且加工精度要求高。故常采用一个作为可动反射镜。参考光路中用平面反射镜B作固定反射镜。使用一个角锥棱镜作可动反射器还可采用其他几种光路。图(b)中,镜Ml和M3上都镀有半反半透膜,M1用作分光器,参考光束经M1反射后在镜M3与测量光束迭加,产生干涉。Ml和M3还能做成一体,如图(c)所示。 ;只用一个角锥棱镜反射器作动镜还可以组成图(d)所示的双光束干涉仪,它也是一种较理想的光路布局,基本上不受镜座多余自由度的影响,而且光程增加一倍。; (3)光学倍频布局 为提高干涉仪的灵敏度,可使用光学倍频(也称光程差放大器)的棱镜系统,如下图所示。角锥棱镜Ml每移动kλ/2干涉条纹便发生一次明暗交替变化,k为倍频系数,图中k=6。利用光学倍频的干涉系统能用简单的脉冲计数做精密测量,而无需进行条纹细分,这种技术还可使干涉仪结构紧凑,减小温度、空气及机械干扰的影响。; (4)零光程差的结构布局 在干涉仪中,为使初始光程差不随环境条件的变化而变化,常采用参考臂Lc和测量臂Lm相等,并使两臂布置在仪器同一侧的结构形式。此时,干涉仪的初始光程差Lm-Lc=0,即所谓的零光程

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