第八讲薄膜材料物理第三章金属薄膜的导电.pptxVIP

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第三章 金属薄膜的导电(续) 第八讲;电阻的温度系数约等于薄膜电阻率的温度系数:; 由于薄膜中的晶界、杂质和缺陷密度远大于块状材 料,所以薄膜电阻率大于块材的,但薄膜电阻率的温 度系数却小于块材的。;其中:;因为 ;根据电阻率与电导率两者温度系数的关系:;可见:;其厚度应变为:;在纵向拉力作用下,薄膜的体积应变为:;若薄膜在垂直电流方向受到一拉力时, 电阻应变系数为:;假若将;结论:连续薄膜的电阻应变系数远小于岛状薄膜, 对精密电阻,电阻应变系数非常重要。; 第四章 薄膜的表面和界面 在研究薄膜中,表面:固体和气体或真空的分界面 界面: 固体和固体的分界面 几何表面:表面的几何分界面。 物理表面:一个电子结构不同于内部的表面区域 由于具体的材料不同,表面区的厚度有很大的差异 ; §4.1 表面双电层的表面势 (1)金属表面的双电层和表面势 晶体中原子排列的三维周期性在表面处突然中断, 表面层中的原子可能发生 重新排列→能量↓(表面能);; 金属中自由电子密度很高→屏蔽→金属表面处的电势 分布近于一个单原子层如图。 ; 硅晶格在表面处突然终止,表面处硅原子有一个 未成键的电子,即有一个未被饱和的建—称为悬挂键 电子在悬挂键上的能态——表面态,处在禁带中, 起电子陷阱作用.;若表面态能级在导带底附近→施主型 若表面态能级在价带顶附近→受主型

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